[實用新型]一種生產多晶硅的加熱爐有效

申請號：	201520020739.9	申請日：	2015-01-12
公開（公告）號：	CN204588712U	公開（公告）日：	2015-08-26
發明（設計）人：	屈銀虎;成小樂;李學藝;符寒光	申請（專利權）人：	北京工業大學
主分類號：	C01B33/021	分類號：	C01B33/021;C30B28/06;C30B29/06;C04B41/85
代理公司：	北京思海天達知識產權代理有限公司 11203	代理人：	張慧
地址：	100124 ***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種生產多晶加熱爐
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【權利要求書】：

1.一種生產多晶硅的加熱爐，其特征在于，石英陶瓷坩堝(4)內表面涂覆厚度1.5～2.5mm的Si₃N₄涂層(3)，石英陶瓷坩堝上開口配有隔熱板(1)；石英陶瓷坩堝可分離地置于感應電爐內，感應電爐最內層為感應爐爐襯(6)，感應爐爐襯(6)的外面自上而下分別設有獨立電源控制的多個平行的感應線圈(5)，在感應電爐的最下面是水冷銅套(7)。

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