[實(shí)用新型]解膠機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520015187.2
• 申請(qǐng)日: 2015-01-09
• 公開（公告）號(hào): CN204464244U
• 公開（公告）日: 2015-07-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉曉斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津中商美華科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及的是UV照射機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體行業(yè)用的解膠機(jī)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中的UV解膠機(jī)多采用UV汞燈從靜止工件下方照射的方式，汞燈發(fā)熱量大，壽命短，光強(qiáng)衰減快，工作效率低，解膠效果不均勻，且散熱性不佳，使用壽命短，安全性差，實(shí)用性不強(qiáng)。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)上存在的不足，本實(shí)用新型目的是在于提供一種解膠機(jī)，通過采用365nm大功率LED芯片面光源在下方固定，工件在上方傳送區(qū)勻速通過的方式，具有高效率、低成本、高安全性等優(yōu)點(diǎn)，而且解膠均勻，散熱性好，使用壽命長。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型是通過如下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：解膠機(jī)，包括機(jī)體、機(jī)蓋、拉手、防靜電工件傳送區(qū)和365nm大功率LED芯片面光源照射單元，機(jī)體頂部設(shè)置有機(jī)蓋，機(jī)蓋前端設(shè)置有拉手，機(jī)體內(nèi)部設(shè)置有防靜電工件傳送區(qū)和365nm大功率LED芯片面光源照射單元，防靜電工件傳送區(qū)兩端分別為放置區(qū)和回收區(qū)，所述的365nm大功率LED芯片面光源照射單元采用365nm大功率LED冷光源。

作為優(yōu)選，所述的LED冷光源采用日亞原裝級(jí)芯片定制。

作為優(yōu)選，所述的機(jī)蓋采用UV防護(hù)玻璃蓋，解膠過程可隨時(shí)觀察光源狀態(tài)。

作為優(yōu)選，所述的LED冷光源還與光源控制器連接。

本實(shí)用新型的有益效果：

1、光源采用日亞原裝1級(jí)芯片定制，超長壽命(>＝20000小時(shí))；

2、配置專用光源控制器，光強(qiáng)輸出大小可調(diào)節(jié)；

3、采用進(jìn)口專業(yè)級(jí)UV防護(hù)玻璃，解膠過程可隨時(shí)觀察光源狀態(tài)；

4、無需預(yù)熱時(shí)間，電源直接達(dá)到全功率輸出；

5、無紅外線發(fā)射，是熱敏材料的理想選擇；

6、相對(duì)于普通UV燈管，最多減少70％的功耗；

7、桌上型設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便，占地面積小。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式來詳細(xì)說明本實(shí)用新型；

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體實(shí)施方式，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。

參照?qǐng)D1，本具體實(shí)施方式采用以下技術(shù)方案：解膠機(jī)，包括機(jī)體1、機(jī)蓋2、拉手3、防靜電工件傳送區(qū)4和365nm大功率LED芯片面光源照射單元5，機(jī)體1頂部設(shè)置有機(jī)蓋2，機(jī)蓋2前端設(shè)置有拉手3，機(jī)體1內(nèi)部設(shè)置有防靜電工件傳送區(qū)4和365nm大功率LED芯片面光源照射單元5，防靜電工件傳送區(qū)4兩端分別為放置區(qū)和回收區(qū)，所述的365nm大功率LED芯片面光源照射單元5采用365nm大功率LED冷光源。

值得注意的是，所述的LED冷光源采用日亞原裝1級(jí)芯片定制。

值得注意的是，所述的機(jī)蓋2采用UV防護(hù)玻璃蓋，解膠過程可隨時(shí)觀察光源狀態(tài)。

此外，所述的LED冷光源還與光源控制器連接。

本具體實(shí)施方式的解膠機(jī)用于半導(dǎo)體制程中的UV膠膜黏度去除機(jī)工序，具有人性化設(shè)計(jì)、容易操作且工作穩(wěn)定等特點(diǎn)。該機(jī)型適用于6到8英寸及以下尺寸的晶圓及框架。配置波長為365nm的LED冷光源，最大輸出功率達(dá)700mW/cm2，打開保護(hù)機(jī)蓋并且放置工件到右側(cè)防靜電工件傳送區(qū)，按下啟動(dòng)按鈕，工件從右側(cè)的放置區(qū)域開始移動(dòng)并越過LED單元到右側(cè)回收區(qū)域，經(jīng)過20-30秒的照射時(shí)間即可達(dá)到完全高效解膠，具有傳統(tǒng)UV膜黏度去除機(jī)構(gòu)無法相比的高效率、低成本、高安全性等優(yōu)點(diǎn)。

以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。