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[實用新型]一種硅片放置傳送機構有效

專利信息
申請號: 201520007117.2 申請日: 2015-01-07
公開(公告)號: CN204384288U 公開(公告)日: 2015-06-10
發明(設計)人: 劉宏亮 申請(專利權)人: 浙江尚源實業有限公司
主分類號: B65G25/06 分類號: B65G25/06
代理公司: 杭州天欣專利事務所(普通合伙) 33209 代理人: 余木蘭
地址: 314500 浙江省嘉*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 硅片 放置 傳送 機構
【權利要求書】:

1.一種硅片放置傳送機構,其特征在于:所述硅片放置傳送機構包括主支架、傳送支架、傳送皮帶、硅片放置支架和硅片放置板,傳送支架設置有兩個,兩個傳送支架水平對稱設置在主支架上側,傳送支架兩側分別豎直轉動連接有皮帶輪,傳送皮帶水平設置在皮帶輪上,兩個傳送支架的皮帶輪之間水平設置有旋轉軸,傳送支架一側水平設置有傳送電機,傳送電機驅動皮帶輪,傳送皮帶上設置有兩個硅片放置支架,硅片放置支架下方的兩側水平對稱設置有傳送導向板,傳送導向板設置在傳送皮帶上,硅片放置支架下側豎直向上設置有提升氣缸,硅片放置板水平設置在提升氣缸的上側,硅片放置支架的外側豎直均勻設置有多個硅片限位機構;所述硅片限位機構包括支撐板、限位輪和限位皮帶,支撐板設置有兩塊,兩塊支撐板豎直對稱設置在硅片放置支架上側,支撐板上下兩側分別水平轉動連接有限位輪,限位皮帶豎直設置在限位輪上,限位皮帶表面設置有軟質橡膠層。

2.根據權利要求1所述的一種硅片放置傳送機構,其特征在于:所述皮帶輪外側設置有齒狀表面,傳送皮帶內側設置有與齒狀表面相適配的齒狀橡膠層。

3.根據權利要求1所述的一種硅片放置傳送機構,其特征在于:所述硅片放置板上側水平設置有防滑橡膠層。

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