[實用新型]一種用于生產高純多晶硅鑄錠的石英坩堝涂層有效
| 申請號： | 201520006346.2 | 申請日： | 2015-01-06 |
| 公開（公告）號： | CN205326392U | 公開（公告）日： | 2016-06-22 |
| 發明（設計）人： | 張福軍;張伏嚴;張曉艷 | 申請（專利權）人： | 常熟華融太陽能新型材料有限公司 |
| 主分類號： | B32B9/04 | 分類號： | B32B9/04;B32B37/12;C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司： | 南京知識律師事務所 32207 | 代理人： | 汪旭東 |
| 地址： | 215500 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 生產 高純 多晶 鑄錠 石英 坩堝 涂層 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于生產高純多晶硅鑄錠的石英坩堝涂層，其特征在于，該涂層成分為氮化硅，所述的氮化硅涂層設置在坩堝本體的內底或/和四面內邊墻。
2.根據權利要求1所述的用于生產高純多晶硅鑄錠的石英坩堝涂層，其特征在于所述的氮化硅涂層通過流延成型工藝制備。
3.根據權利要求2所述的用于生產高純多晶硅鑄錠的石英坩堝涂層，其特征在于，所述的氮化硅涂層厚度為0.2-5mm。
4.根據權利要求1-3中任一項權利要求所述的用于生產高純多晶硅鑄錠的石英坩堝涂層，其特征在于通過高純度硅溶膠或聚乙烯醇類粘結劑將流延工藝制備的氮化硅涂層與石英坩堝本體進行粘結。
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