[實(shí)用新型]探漏裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520006042.6
• 申請日: 2015-01-06
• 公開（公告）號: CN204346647U
• 公開（公告）日: 2015-05-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王曉英;余慶;田丹丹
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: G01M3/04
• 分類號: G01M3/04
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)中偵測漏液的裝置，具體涉及一種探漏裝置。

背景技術(shù)

在工廠有時(shí)會發(fā)生從生產(chǎn)線的制造裝置、或者向該制造裝置供給液體的配管漏液的情況。來自于所述制造裝置或配管的漏液會導(dǎo)致工廠設(shè)施的破損和制品不良，特別是在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上，來自于制造裝置或配管的漏液導(dǎo)致工廠設(shè)施的破損和制品不良的可能性較高。于是，在工廠的制造裝置或配管上設(shè)置偵測來自于制造裝置或配管的漏液的設(shè)備。

目前針對于偵測漏液的設(shè)備均為固定被動式，只有當(dāng)液體流至傳感器(Sensor)或傳感器感應(yīng)范圍時(shí)，才有報(bào)警信號輸出。這種偵測模式適用于大范圍的監(jiān)測，但是無法滿足于人為主觀的去尋找和偵測漏源。

在對偵測漏液的設(shè)備的使用過程中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)安裝在高架下方或者狹小空間內(nèi)的漏液傳感器收到報(bào)警信號時(shí)，工作人員不方便進(jìn)入到報(bào)警區(qū)域?qū)β┰催M(jìn)行搜尋，從而無法立即判斷漏源的位置和危害性。

并且，目前所有的漏液偵測器都只有偵測漏液報(bào)警功能，無法分析漏液的性質(zhì)，必須人為的使用PH試紙去現(xiàn)場測試其PH值以后，才能判斷漏液的信息。但是在局限的狹小空間，人員無法進(jìn)入的情況下想要了解漏液的性質(zhì)非常困難。

因此，亟需提供一種針對狹小空間的移動探漏裝置，可以在人員不用進(jìn)入狹小空間的情況下，使用該裝置尋找漏源和了解漏液的性質(zhì)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種探漏裝置，在人員不用進(jìn)入狹小空間的情況下，使用該裝置尋找漏源和了解漏液的性質(zhì)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種探漏裝置，包括桿體，在所述桿體上設(shè)置有第一凹槽與第二凹槽，所述第一凹槽沿所述桿體的長邊方向設(shè)置，其兩端分別延伸至所述桿體的兩端邊緣，其中一端在所述桿體的邊緣處連接至所述第二凹槽。

可選的，所述第一凹槽呈細(xì)條形，所述第二凹槽呈方形或圓形。

可選的，所述第一凹槽的寬度為0.01cm～0.03cm。

可選的，所述第一凹槽中設(shè)置有吸水棉線，所述第二凹槽中設(shè)置有PH試紙。

可選的，所述桿體為長方體。

可選的，所述第一凹槽與第二凹槽位于所述長方體具有長邊的平面上。

可選的，所述第一凹槽到所述平面的兩個(gè)長邊的距離相等。

可選的，在所述第一凹槽兩側(cè)的桿體上交叉設(shè)置有若干張PH試紙。

可選的，在所述第一凹槽兩側(cè)的桿體上交叉設(shè)置有3張PH試紙。

可選的，在所述桿體上靠近第二凹槽的一端設(shè)置有操作手柄。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):

1、本實(shí)用新型提供的探漏裝置，在桿體上設(shè)置有第一凹槽與第二凹槽，第一凹槽沿所述桿體的長邊方向設(shè)置，其兩端分別延伸至桿體的兩端邊緣，其中一端在桿體的邊緣處連接至第二凹槽；將探漏裝置伸向需要探測的區(qū)域，若該區(qū)域有漏液發(fā)生，漏液滴入第一凹槽中，通過傾斜探漏裝置，漏液沿第一凹槽流至桿體邊緣處的第二凹槽，然后對第二凹槽中的漏液性質(zhì)進(jìn)行判斷，從而尋找到漏源和了解漏液的性質(zhì)，不僅避免了工作人員進(jìn)行狹小的空間受到刮傷、磕碰，甚至與危害物質(zhì)接觸的風(fēng)險(xiǎn)，而且可以節(jié)約大量的時(shí)間；

2、本實(shí)用新型將第一凹槽設(shè)置為細(xì)條形，在其中設(shè)置吸水棉線，將第二凹槽設(shè)置為方形或圓形，在其中設(shè)置PH試紙，通過細(xì)縫吸水的原理，漏液會沿著吸水棉線蔓延至第二凹槽，使PH試紙變色，工作人員只需要觀察PH試紙有無變色和顏色的變化，即可判斷漏源和漏液的性質(zhì)，其操作簡單，方便耐用；

3、本實(shí)用新型在第一凹槽兩側(cè)的桿體上交叉設(shè)置有若干張PH試紙，可以檢測到少量的液體泄漏，防止因漏液較少沒有滴入第一凹槽而判斷錯(cuò)誤。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例所提供的探漏裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例所提供的探漏裝置的俯視圖。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對本實(shí)用新型的內(nèi)容做進(jìn)一步說明。當(dāng)然本實(shí)用新型并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。

其次，本實(shí)用新型利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)的表述，在詳述本實(shí)用新型實(shí)例時(shí)，為了便于說明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應(yīng)對此作為本實(shí)用新型的限定。