[發明專利]一種測試元件組、陣列基板、檢測設備及檢測方法

有效

• 申請號: 201511030280.1
• 申請日: 2015-12-31
• 公開（公告）號: CN105609023B
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發明（設計）人: 劉穎;田宏偉;孫拓
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G09G3/00
• 分類號: G09G3/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

1.一種檢測裝置，應用于測試元件組，所述測試元件組包括：

薄膜晶體管陣列；

在所述薄膜晶體管陣列中，每行薄膜晶體管的第一電極分別連接至一第一連接端，每列薄膜晶體管的第二電極分別連接至一第二連接端，所有薄膜晶體管的第三電極連接至同一第三連接端；

其中，所述第一電極、第二電極和第三電極分別為薄膜晶體管的源極、漏極和柵極中的一者；

其特征在于，所述檢測裝置包括：

確定模塊，用于在所述薄膜晶體管陣列中確定一待檢測薄膜晶體管，以及該待檢測薄膜晶體管在所述薄膜晶體管陣列中對應行序和列序；

檢測模塊，用于通過所述行序對應的第一連接端、所述列序所對應的第二連接端以及所述第三連接端，對所述待檢測薄膜晶體管進行電參數檢測。

2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，

所述檢測模塊包括：

第一檢測子模塊，具有用于與每個第一連接端一一對應接觸的第一探針,其中，所述第一檢測子模塊能夠通過其與所述行序對應的第一連接端接觸的第一探針，對所述待檢測薄膜晶體管的第一電極進行電參數檢測；

第二檢測子模塊，具有用于與每個第二連接端一一對應接觸的第二探針,其中，所述第二檢測子模塊能夠通過其與所述列序對應的第二連接端接觸的第二探針，對所述待檢測薄膜晶體管的第二電極進行電參數檢測。

3.根據權利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，還包括：

第三檢測子模塊，具有用于與所述第三連接端接觸的第三探針,其中，所述第三檢測子模塊能夠通過其與所述第三連接端接觸的第三探針，對所述待檢測薄膜晶體管的第三電極進行電參數檢測。

4.根據權利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，

所述第一檢測子模塊還包括：

第一邏輯開關，能夠開啟用于與所述行序對應的第一連接端接觸的第一探針，并關閉剩余的第一探針；

所述第二檢測子模塊還包括：

第二邏輯開關，能夠開啟用于與所述列序對應的第一連接端接觸的第二探針，并關閉剩余的第二探針。

5.根據權利要求4所述的檢測裝置，其特征在于，

所述第一邏輯開關包括：

第一譯碼器和與所述第一探針一一對應串接的第一繼電器，其中，所述第一譯碼器的輸出端與每個第一繼電器的控制端連接；

所述第二邏輯開關包括：

第二譯碼器和與所述第二探針一一對應串接的第二繼電器，其中，所述第二譯碼器的輸出端與每個第二繼電器的控制端連接。

6.一種檢測方法，應用于測試元件組，所述測試元件組包括：

薄膜晶體管陣列；

在所述薄膜晶體管陣列中，每行薄膜晶體管的第一電極分別連接至一第一連接端，每列薄膜晶體管的第二電極分別連接至一第二連接端，所有薄膜晶體管的第三電極連接至同一第三連接端；

其中，所述第一電極、第二電極和第三電極分別為薄膜晶體管的源極、漏極和柵極中的一者；

其特征在于，所述檢測方法包括：

在所述薄膜晶體管陣列中確定一待檢測薄膜晶體管，以及該待檢測薄膜晶體管在所述薄膜晶體管陣列中對應行序和列序；

通過所述行序所對應的第一連接端、所述列序所對應的第二連接端以及所述第三連接端，對該待檢測薄膜晶體管進行電參數檢測。