[發明專利]一種硅片插片裝置

有效

• 申請號: 201511029672.6
• 申請日: 2015-12-31
• 公開（公告）號: CN105428468B
• 公開（公告）日: 2017-03-22
• 發明（設計）人: 邱文良
• 申請（專利權）人: 蘇州博陽能源設備有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙)32251
• 代理人: 王華

1.一種硅片插片裝置，其特征在于：包括分片機構、供料槽和輸送帶；所述分片機構包括包括硅片分片機構本體，該硅片分片機構本體向下設有兩個平行且間隔設置的分片輸送帶，所述硅片分片機構本體朝向所述分片輸送帶設有氣孔，該氣孔通過管路與抽氣裝置連通；所述分片輸送帶的輸送方向的前端設有滾輪；所述供料槽包括供料槽槽體和水泵，所述供料槽槽體設有溢流口，該溢流口通過管路與一儲液槽連通；所述供料槽槽體內設有用以盛放堆垛硅片的承托平臺，該承托平臺與一上下移動驅動裝置的驅動部傳動連接；所述供料槽槽體上設有液壓傳感器，該液壓傳感器與一計算機數控系統信號連接，所述計算機數控系統與所述水泵電連接；所述供料槽槽體內容納有液體，液體的深度總是大于堆垛硅片的高度；所述輸送帶包括第一輸送帶、第二輸送帶、第三輸送帶和第四輸送帶，所述第一輸送帶和第二輸送帶依次設置，所述第三輸送帶和第四輸送帶依次設置，所述第二輸送帶和第三輸送帶成夾角設置；所述第三輸送帶朝向第二輸送帶的側邊與第二輸送帶端部的間隙的距離小于硅片的尺寸，相對的另一側邊設有硅片擋板，該硅片擋板朝向所述第二輸送帶的側部設有柔性材料層；所述第二輸送帶的上方設有硅片檢測裝置，該硅片檢測裝置與一控制系統信號連接；所述第三輸送帶對應所述第四輸送帶相反的一端設有廢片儲盒；所述控制系統與所述第三輸送帶的驅動馬達電連接；所述承托平臺對應所述分片輸送帶設置；所述第一輸送帶的一端位于所述滾輪的下方。

2.根據權利要求1所述的硅片插片裝置，其特征在于：所述分片輸送帶為同步帶。

3.根據權利要求2所述的硅片插片裝置，其特征在于：所述同步帶套設在主動輪和從動輪上，所述主動輪與驅動裝置傳動連接。

4.根據權利要求3所述的硅片插片裝置，其特征在于：所述驅動裝置為一驅動馬達，該驅動馬達的輸出軸與所述主動輪通過帶傳動。

5.根據權利要求1所述的硅片插片裝置，其特征在于：所述硅片分片機構本體在所述分片輸送帶的輸送方向的前端設有滾輪固定板，該滾輪固定板朝下設有抽氣氣孔，該抽氣氣孔通過管路與抽氣裝置連通；所述滾輪轉動支撐于所述滾輪固定板上。

6.根據權利要求1所述的硅片插片裝置，其特征在于：所述硅片分片機構本體上設有一封閉的氣腔，該氣腔朝向所述分片輸送帶的方向設有若干個氣孔，所述氣腔固定有氣嘴，該氣嘴通過管路與抽氣裝置連通。

7.根據權利要求1所述的硅片插片裝置，其特征在于：所述上下移動驅動裝置為絲杠螺母機構。

8.根據權利要求1所述的硅片插片裝置，其特征在于：所述水泵的進水口通過管路與所述儲液槽連通，所述水泵的出水口通過管路與所述供料槽槽體連通。

9.根據權利要求1所述的硅片插片裝置，其特征在于：所述柔性材料層的材質為硅膠。

10.根據權利要求1所述的硅片插片裝置，其特征在于：所述第一輸送帶傾斜設置，其高的一端與所述第二輸送帶相鄰設置；所述第一輸送帶、第二輸送帶、第三輸送帶和第四輸送帶均為同步帶；所述第二輸送帶和第三輸送帶成直角設置。