[發明專利]氣體管路泄露及壓力波動的檢測裝置及檢測方法

在審

• 申請號: 201511026551.6
• 申請日: 2015-12-31
• 公開（公告）號: CN105605431A
• 公開（公告）日: 2016-05-25
• 發明（設計）人: 楊衛楓;吳鈞敏
• 申請（專利權）人: 上海華虹宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: F17D5/02
• 分類號: F17D5/02;F17D5/00
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 丁紀鐵

技術領域

本發明涉及氣體管路的泄露及壓力檢測裝置，本發明還涉及所述氣體管路泄露及壓 力波動的檢測裝置的檢測方法。

背景技術

目前半導體工廠的二次配管大宗氣體管路的泄漏檢測及壓力波動測量，一般使用指 針式壓力表進行12小時連續檢測壓力，檢測結果依靠目測，無法對細微的壓力泄漏進 行判斷，經常無法通過科學的測量來解決相關問題。由于半導體工廠對安全和環境的要 求高，氣體配管不能有任何的泄漏，業界普遍采用的HE檢漏儀檢查泄漏率，價格高且 一般使用于特氣管路，性價比低。

同時，在半導體工廠內無法精確到對單臺設備進行壓力波動檢測(目前只監測系統 壓力)，經常無法通過科學的測量來解決相關問題，當出現單臺設備出現宕機時，無法 判斷是否是由于動力部門提供的氣體壓力發生的波動而造成，也無法判斷發生壓力波動 的時間。

基于以上兩點，需要一種針對大宗氣體管路泄漏及壓力波動的檢測手段。

旋轉圓盤式壓力測定表盤是機械傳動裝置(可用機械鐘表改造)、彈簧管、帶畫筆 的轉軸固件組成的，由于被測量氣體壓力的變化使彈簧管的自由端產生位移，借助連桿 帶動轉軸扇使得帶畫筆的指針旋轉，在記錄紙上畫出相應的壓力數值。在測量12小時 后，壓力如沒有變化，則能畫出不斷點能重合的等直徑光滑圓圈，證明所測二次配管管 路氣體沒有泄漏，適用于(CDA、N2、H2、O2、AR等等介質的壓力)，在二次配管管路內 氣體壓力發生波動時，利用旋轉圓盤式壓力測定表盤，可監測12小時內，何時發生過 壓力波動的情況。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種氣體管路泄露及壓力波動的檢測裝置，監控 氣體管路內部氣體壓力。

本發明還要解決的技術問題在于提供所述氣體管路泄露及壓力波動的檢測裝置的 檢測方法。

為解決上述問題，本發明所述的氣體管路泄露及壓力波動的檢測裝置，包含：

一導氣管，該導氣管與氣體管路連接，并且在導氣管上安裝有閥門組，控制導氣管 內氣體的流通；

一彈簧管，該彈簧管呈螺旋彈簧狀，具備首尾兩端，其尾端有一卡件將其固定，并 且螺旋彈簧與導氣管連接，導體管內的氣體通過閥門進入螺旋彈簧內；彈簧管的首端為 自由端，進入彈簧管內氣體的壓力及流量的變化能使自由端自由擺動；

一轉軸，該轉軸固定于一轉軸架上，轉軸通過連接件連接彈簧管的首端，當首端擺 動時，通過連接件帶動轉軸形成轉動；

記錄裝置，該記錄裝置通過一擺動臂安裝在轉軸上，當轉軸轉動時，帶動擺動臂擺 動，使記錄裝置形成運動；

機械傳動裝置，由多個齒輪構成齒輪組驅動一圓盤轉動，圓盤上放置帶刻度的圓形 記錄紙，圓盤圓心處有一帽托對圓形記錄紙施加向下的壓力，固定圓形記錄紙；所述記 錄裝置通過擺動臂懸浮于圓形記錄紙的上方，并且記錄裝置與記錄紙接觸，在記錄紙上 形成劃線筆跡。

進一步地，所述圓盤的轉動速度由齒輪組決定，以設定圓盤轉動一周所需的時間， 如設置成12小時旋轉一周，或者任意時間。

進一步地，所述記錄裝置為水筆、鉛筆、圓珠筆或其他能持續均勻劃線的設備。

為解決上述問題，本發明所述的氣體管路泄露及壓力波動的檢測裝置的檢測方法， 包含：

步驟一，將導氣管接入待測氣體管路，打開閥門組，使導氣管與氣體管路接通；

步驟二，在圓盤上放置帶刻度的記錄紙，將記錄裝置置于紙上使之接觸能產生畫線；

步驟三，使機械傳動裝置按照設定轉速進行旋轉，記錄裝置在記錄紙上開始畫線。

進一步地，還包括步驟四，機械傳動裝置旋轉一周后，通過閥門組將導氣管內的氣 體壓力釋放。

進一步地，所述的氣體管路泄露及壓力波動的檢測裝置的檢測方法，氣體通過彈簧 管，有壓力波動時，彈簧管自由端發生位移，轉軸形成連動，推動記錄裝置的擺動，使 記錄紙上的畫線產生波動。

進一步地，所述的氣體管路泄露及壓力波動的檢測裝置的檢測方法，機械傳動裝置 旋轉一周，若記錄裝置畫線軌跡為封閉的圓形，則表明氣體管路沒有發生泄露；若畫線 軌跡不封閉，首尾不能重合，這表明氣體管路壓力不穩定；若畫線軌跡首尾重合，但中 間產生波動，這表示氣體壓力在某時間段發生波動。