[發明專利]一種給氣浮動機構

在審

• 申請號: 201511015443.9
• 申請日: 2015-12-30
• 公開（公告）號: CN105405797A
• 公開（公告）日: 2016-03-16
• 發明（設計）人: 賀懷珍
• 申請（專利權）人: 天津金海通自動化設備制造有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 楊慧玲

1.一種給氣浮動機構，其特征在于：包括基座(1)和該基座(1)頂部設置的基座上蓋(2)，所述基座(1)設有開口向上的安裝腔，所述基座上蓋(2)豎直方向上設有通孔，該通孔和安裝腔正對設置，所述基座(1)的底部設有和安裝腔連通的進氣孔，所述安裝腔內設有頂升機構，所述頂升機構包括由上至下設置的浮動桿(3)、膜片(12)和固定膜片環(4)，所述浮動桿(3)、膜片(12)和固定膜片環(4)連接為一體，所述膜片(12)的開口向下設置，所述膜片(12)、固定膜片環(4)、浮動桿(3)和通孔同心設置，所述膜片(12)的外邊緣和安裝腔底面密封設置，所述膜片(12)和安裝腔底面間形成進氣腔，所述浮動桿(3)包括底板(31)和立柱(32)，所述立柱(32)豎直設置在底板(31)的上表面，且立柱(32)正對通孔設置，立柱(32)在通孔內可上下滑動，所述底板(31)和基座上蓋(2)間設有彈簧(11)。

2.根據權利要求1所述的一種給氣浮動機構，其特征在于:所述固定膜片環(4)的中心處和基座(1)間設有導向銷(6)，所述導向銷(6)豎直固定在基座(1)上，所述固定膜片環(4)和導向銷(6)滑動連接。

3.根據權利要求2所述的一種給氣浮動機構，其特征在于：所述導向銷(6)和基座(1)螺絲連接。

4.根據權利要求1或2所述的一種給氣浮動機構，其特征在于：所述基座上蓋(2)的底面對稱的設有兩個浮動調整銷(7)，所述兩個浮動調整銷(7)分別為圓柱銷，該兩個浮動調整銷(7)的底端分別設有導向部，所述底板(31)和該兩個浮動調整銷(7)一一對應的設有導向孔。

5.根據權利要求4所述的一種給氣浮動機構，其特征在于：所述基座上蓋(2)的底面上還對稱的設有兩個第一定位銷(5)，所述兩個第一定位銷(5)分別為臺階銷，該第一定位銷(5)直徑較小的一端和基座上蓋(2)連接，所述第一定位銷(5)直徑較大一端的長度小于浮動調整銷(7)位于基座上蓋(2)外的長度，所述底板(31)和該兩個第一定位銷(5)一一對應的設有定位孔。

6.根據權利要求5所述的一種給氣浮動機構，其特征在于：所述兩個浮動調整銷(7)和兩個第一定位銷(5)呈“十”字型設置。

7.根據權利要求1所述的一種給氣浮動機構，其特征在于：所述基座(1)和基座上蓋(2)間設有兩個第二定位銷(9)，該兩個第二定位銷(9)固定在基座(1)上，所述基座上蓋(2)與該兩個第二定位銷(9)一一對應的設有連接孔。

8.根據權利要求1所述的一種給氣浮動機構，其特征在于：所述彈簧(11)套裝在立柱(32)上。

9.根據權利要求1所述的一種給氣浮動機構，其特征在于：所述膜片(12)為氟硅膠膜片。

10.根據權利要求1所述的一種給氣浮動機構，其特征在于：所述基座(1)和基座上蓋(2)間螺栓連接，所述浮動桿(3)、膜片(12)和固定膜片環(4)間為螺栓連接。