[發明專利]半導體圖案的測量裝置、使用其的測量系統和測量方法有效
| 申請號： | 201511001427.4 | 申請日： | 2015-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN106442571B | 公開（公告）日： | 2020-03-06 |
| 發明（設計）人： | 姜允植;馬圣民;韓準成 | 申請（專利權）人： | 愛思開海力士有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/956 | 分類號： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 俞波;許偉群 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 圖案 測量 裝置 使用 系統 測量方法 | ||
【說明書】：
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