[發(fā)明專(zhuān)利]晶片加工體、晶片加工用暫時(shí)粘著材料及薄型晶片的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510994277.5
• 申請(qǐng)日: 2015-12-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105733498B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田邊正人;菅生道博;安田浩之;田上昭平;加藤英人
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C09J183/07
• 分類(lèi)號(hào): C09J183/07;C09J183/04;C09J7/30
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 李英艷;崔香丹

1.一種晶片加工用暫時(shí)粘著材料，其用于將表面具有電路面且背面需加工的晶片暫時(shí)粘著于支持體上，所述晶片加工用暫時(shí)粘著材料的特征在于，

所述晶片加工用暫時(shí)粘著材料具備復(fù)合暫時(shí)粘著材料層，所述復(fù)合暫時(shí)粘著材料層具有由熱固化性硅氧烷聚合物層(A)構(gòu)成的第一暫時(shí)粘著層、由積層于所述第一暫時(shí)粘著層的一面上的熱固化性聚合物層(B)構(gòu)成的第二暫時(shí)粘著層、以及由積層于所述第一暫時(shí)粘著層的另一面上的熱可塑性樹(shù)脂層(C)構(gòu)成的第三暫時(shí)粘著層；

并且，所述熱固化性硅氧烷聚合物層(A)是含有以下成分的組合物的固化物層：

(A-1)在分子中具有烯基的有機(jī)聚硅氧烷：100～50質(zhì)量份；

(A-2)含有R¹⁰₃SiO_0.5單元與SiO₂單元且R¹⁰₃SiO_0.5單元/SiO₂單元的摩爾比為0.5～1.7的有機(jī)聚硅氧烷，此處，R¹⁰是碳原子數(shù)1至10的未取代或取代的一價(jià)烴基：0～50質(zhì)量份，其中，(A-1)和(A-2)成分的總和為100質(zhì)量份，所含(A-2)成分大于0質(zhì)量份；

(A-3)在1個(gè)分子中含有2個(gè)以上的與硅原子鍵合的氫原子，即，Si-H基的有機(jī)氫聚硅氧烷：(A-3)成分中的Si-H基相對(duì)于所述(A-1)成分中的烯基的摩爾比為0.3至15的量；以及，

(A-4)鉑類(lèi)催化劑：有效量；

構(gòu)成所述第三暫時(shí)粘著層(C)的熱可塑性樹(shù)脂是烯烴類(lèi)熱可塑性彈性體。

2.如權(quán)利要求1所述的晶片加工用暫時(shí)粘著材料，其中，構(gòu)成所述第三暫時(shí)粘著層(C)的熱可塑性樹(shù)脂是選自聚丁二烯類(lèi)熱可塑性彈性體、苯乙烯類(lèi)熱可塑性彈性體以及苯乙烯/丁二烯類(lèi)熱可塑性彈性體中的至少一種。

3.如權(quán)利要求1所述的晶片加工用暫時(shí)粘著材料，其中，所述熱固化性硅氧烷聚合物層(A)，進(jìn)一步，作為(A-5)成分含有以下質(zhì)量份的反應(yīng)控制劑：相對(duì)于所述(A-1)、所述(A-2)以及所述(A-3)成分的總和100質(zhì)量份，為0.1至10質(zhì)量份。

4.如權(quán)利要求1所述的晶片加工用暫時(shí)粘著材料，其中，在所述熱固化性硅氧烷聚合物層(A)進(jìn)行熱固化后，在25℃時(shí)寬度為25mm的試驗(yàn)片的180°剝離力為2gf以上且50gf以下，并且在180℃時(shí)寬度為25mm的試驗(yàn)片的180°剝離力為所述25℃時(shí)寬度為25mm的試驗(yàn)片的180°剝離力的40％以上。

5.如權(quán)利要求3所述的晶片加工用暫時(shí)粘著材料，其中，在所述熱固化性硅氧烷聚合物層(A)進(jìn)行熱固化后，在25℃時(shí)寬度為25mm的試驗(yàn)片的180°剝離力為2gf以上且50gf以下，并且在180℃時(shí)寬度為25mm的試驗(yàn)片的180°剝離力為所述25℃時(shí)寬度為25mm的試驗(yàn)片的180°剝離力的40％以上。

6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的晶片加工用暫時(shí)粘著材料，其中，所述熱固化性聚合物層(B)為組合物的固化物層，所述組合物，相對(duì)于具有由下述通式(1)表示的重復(fù)單元且重量平均分子量為3000～500000的100質(zhì)量份的含硅氧烷鍵的聚合物，作為交聯(lián)劑，含有0.1～50質(zhì)量份的選自下述任意1種以上：由甲醛或甲醛-乙醇改性而成的氨基縮合物、三聚氰胺樹(shù)脂、尿素樹(shù)脂；在1分子中平均具有2個(gè)以上的羥甲基或烷氧基羥甲基的苯酚化合物；以及，在1分子中平均具有2個(gè)以上的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物；

式(1)中，R¹～R⁴表示相同或不同的碳原子數(shù)1～8的一價(jià)烴基；并且，m是1～100的整數(shù)，B是正數(shù)，A是0或正數(shù)；其中A+B＝1；X是由下述通式(2)表示的二價(jià)有機(jī)基；

式(2)中，Z是

-CH₂-，

選自上述中的任一種的二價(jià)有機(jī)基，N是0或1；并且，R⁵、R⁶分別為碳原子數(shù)1～4的烷基或烷氧基，彼此可以相同或不同；k是0、1以及2中的任一種。