[發(fā)明專利]用于制作帶有側(cè)壁凹陷的半導(dǎo)體器件的方法及相關(guān)器件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510992712.0 | 申請日： | 2015-12-24 |
| 公開（公告）號： | CN106298550B | 公開（公告）日： | 2019-01-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | J·塔利多 | 申請（專利權(quán)）人： | 意法半導(dǎo)體公司 |
| 主分類號： | H01L21/50 | 分類號： | H01L21/50;H01L21/60 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務(wù)所 11256 | 代理人： | 王茂華;董典紅 |
| 地址： | 菲律賓*** | 國省代碼： | 菲律賓;PH |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 制作 帶有 側(cè)壁 凹陷 半導(dǎo)體器件 方法 相關(guān) 器件 | ||
【說明書】：
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H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
