[發明專利]一種固體潤滑多層復合膜及其制備方法有效
| 申請號： | 201510989894.6 | 申請日： | 2015-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN105568215B | 公開（公告）日： | 2018-11-13 |
| 發明（設計）人： | 韋春貝;代明江;侯惠君;林松盛;李琪;石倩;胡芳;趙利;曾威 | 申請（專利權）人： | 廣東省新材料研究所 |
| 主分類號： | C23C14/02 | 分類號： | C23C14/02;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/35;C23C28/00 |
| 代理公司： | 廣東世紀專利事務所有限公司 44216 | 代理人： | 千知化 |
| 地址： | 510651 廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 固體 潤滑 多層 復合 及其 制備 方法 | ||
1.一種固體潤滑多層復合膜，其特征是依次由基體（1）、金屬底層Me（2）、CuNiIn層（3）、金屬過渡層Me（4）、MoS2-Me層（5）和外層構成，外層依次由金屬過渡層Me（4）、CuNiIn層（3）、金屬過渡層Me（4）和MoS2-Me層（5）層交替多次沉積構成多層結構，該多層結構中的最外層為MoS2-Me層（5）；所述的Me為Ti、Cr或W。
2.權利要求1所述的固體潤滑多層復合膜的制備方法，其特征是采用磁控濺射的方法，首先在基體上沉積金屬底層Me（2），然后依次沉積CuNiIn層（3）、金屬過渡層Me（4）和MoS2-Me層（5），交替沉積金屬過渡層Me（4）、CuNiIn層（3）、金屬過渡層Me（4）和MoS2-Me層（5）層形成多層結構，多層復合膜最外層為MoS2-Me層，由以下步驟組成：
①將經除油除銹的工件放入真空室內，真空度≤5×10-3Pa，離子清洗工件；
②在氬氣壓0.1~0.8Pa，金屬Me靶功率5~12W/cm2，偏壓100~300V，離子源0.5~2kW下，沉積金屬底層Me（2），厚度為100~300nm；
③關閉金屬Me靶，開啟CuNiIn靶，在氬氣壓0.3~2.0Pa，功率5~12W/cm2，偏壓30~200V，離子源0.3~1kW下，沉積CuNiIn層（3），厚度100nm~1μm；
④關閉CuNiIn靶，開啟金屬Me靶，在氬氣壓0.3~2.0Pa，功率5~12W/cm2，偏壓為100~500V，離子源0.3~1kW，沉積金屬過渡層Me（4），厚度為50~200nm；
⑤同時開啟MoS2靶和金屬Me靶，在氬氣壓0.3~2.0Pa，金屬Me靶功率3~5W/cm2，MoS2靶功率5~12W/cm2，偏壓30~200V，離子源0.3~1kW，沉積MoS2-Me層（5），厚度為100nm~1μm；
⑥依次按步驟④、③、④和⑤交替沉積金屬過渡層Me（4）、CuNiIn層（3）、金屬過渡層Me（4）和MoS2-Me層（5），沉積5~50次后形成多層結構，最外層為MoS2-Me層（5），總厚度為2~50μm。
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