[發(fā)明專利]新型光纖高壓傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510965116.3
• 申請日: 2015-12-17
• 公開（公告）號: CN105571769B
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發(fā)明（設計）人: 劉柯
• 申請（專利權）人: 天津求實飛博科技有限公司
• 主分類號: G01L11/02
• 分類號: G01L11/02
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 李莉華

1.新型光纖高壓傳感器，其特征在于：所述傳感器包括壓力入口(1)、壓力源接頭(2)、底座(3)、外殼(4)、光纜防水接頭(5)、傳感膜片(6)、多模光纖(7)、SMA金屬光纖插芯(8)、鎧裝光纖外套(9)；SMA金屬光纖插芯(8)和底座(3)的側面通過均勻涂抹環(huán)氧樹脂膠密封，底面通過激光焊接連接；傳感膜片(6)為帶有圓柱形法珀微腔的方形膜片，和SMA金屬光纖插芯(8)之間通過環(huán)氧樹脂固定，固定前通過偏振低相干干涉解調儀觀察信號質量保證膜片與插芯的對中性；壓力源接頭(2)和底座(3)的側面通過均勻涂抹環(huán)氧樹脂膠密封，底面通過激光焊接連接；底座(3)和外殼(4)之間、外殼(4)和光纜防水接頭(5)之間均通過螺紋連接，傳感硅片(10)和Pyrex玻璃基底(12)經陽極鍵合構成傳感膜片(6)，所述傳感硅片(10)和Pyrex玻璃基底(12)之間為經MEMS技術腐蝕得到的真空F-P微腔(11)。