[發明專利]制造化學機械拋光墊的方法

有效

• 申請號: 201510964932.2
• 申請日: 2015-12-21
• 公開（公告）號: CN105729326B
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: F·V·阿赫奧拉;A·旺克;M·加薩;S·章;J·蔡;W·A·希申;J·D·塔特;L·H·蔣;S-T·金
• 申請（專利權）人: 羅門哈斯電子材料CMP控股股份有限公司;陶氏環球技術有限責任公司
• 主分類號: B24D18/00
• 分類號: B24D18/00;B24B37/20;G01N21/59
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100
• 代理人: 陳哲鋒,胡嘉倩

1.一種制造具有拋光層的化學機械拋光墊的方法，其包含：

提供由可固化材料形成的固化餅狀物；其中所述可固化材料包含液體預聚物和多種微量元素，其中所述多種微量元素分散于所述液體預聚物中；

切削所述固化餅狀物形成多個切削薄片；

提供自動檢查系統，其包含：

暗匣；

光源，其發射光束；

光檢測器；

數字圖像數據采集裝置；以及

圖像數據處理單元；

將所述多個切削薄片裝載到所述暗匣中；

一次一個切削薄片在所述光源與所述光檢測器之間輸送所述多個切削薄片；其中所述各切削薄片在其透射表面和沖擊表面之間具有厚度T_S；其中所述透射表面和所述沖擊表面實質上平行；

其中所述光源發射的所述光束經定向以沖擊到所述沖擊表面上；以及其中所述光檢測器經定向以檢測來自所述光束的透射光，所述透射光傳播通過厚度T_S并且從所述透射表面傳出；

其中所述透射光具有至少一種可檢測特性；

其中所述至少一種可檢測特性包括所述透射光的強度；

其中所述透射光的所述強度通過所述光檢測器轉化成電信號；

其中來自所述光檢測器的所述電信號通過所述數字圖像數據采集裝置轉化成數字信號；

其中來自所述數字圖像數據采集裝置的所述數字信號通過所述圖像數據處理單元處理，其中所述圖像數據處理單元經配置以檢測宏觀不均勻性并且將切削薄片分類成可接受或待檢；

其中所述多個切削薄片分成可接受薄片的群體和待檢薄片的群體；

其中所述可接受薄片的群體包括至少一個可接受薄片；以及

處理來自所述可接受薄片的群體的可接受薄片形成所述化學機械拋光墊的所述拋光層；其中所述拋光層調適成用于拋光襯底。

2.根據權利要求1所述的方法，其中所述待檢薄片的群體包括至少一個待檢薄片；其中所述至少一個待檢薄片含有至少一種檢測到的宏觀不均勻性；以及其中所述圖像數據處理單元進一步經配置以在非易失性存儲器中制造和儲存所述至少一個待檢薄片的圖譜，其中定位所述至少一種檢測到的宏觀不均勻性的位置。

3.根據權利要求2所述的方法，其進一步包含：

從所述待檢薄片的群體選擇選定薄片。

4.根據權利要求3所述的方法，其中所述自動檢查系統進一步包含：

顯示器；

其中所述選定薄片的圖像呈現在所述顯示器上。

5.根據權利要求4所述的方法，其進一步包含：

對所述選定薄片進行目測，其中通過在所述顯示器上呈現所述選定薄片的所述圖像來實現目測；以及

(i)基于所述目測將所述選定薄片重新分類成可接受，其中所述選定薄片接著添加到所述可接受薄片的群體；或(ii)基于所述目測將所述選定薄片分類成有缺陷的，其中所述選定薄片接著添加到有缺陷薄片的群體。

6.根據權利要求4所述的方法，其中所述選定薄片的所述圖像為顯示至少一種檢測到的宏觀不均勻性的放大的部分圖像。

7.根據權利要求6所述的方法，其進一步包含：

對所述選定薄片進行目測，其中通過在所述顯示器上呈現所述選定薄片的所述圖像來實現目測；以及

(i)基于所述目測將所述選定薄片重新分類成可接受，其中所述選定薄片接著添加到所述可接受薄片的群體；或(ii)基于所述目測將所述選定薄片分類成有缺陷的，其中所述選定薄片接著添加到有缺陷薄片的群體。

8.根據權利要求1所述的方法，其中處理所述可接受薄片，包含：

通過在所述可接受薄片中機械加工至少一個凹槽形成凹槽圖案來形成拋光表面；

其中所述凹槽圖案調適成用于拋光所述襯底。

9.根據權利要求8所述的方法，其中處理所述可接受薄片，進一步包含：

提供子墊；

提供粘著劑；以及

使用所述粘著劑將所述子墊層壓到所述可接受薄片。