[發明專利]基于基準點的相關顯微術

在審

• 申請號: 201510959643.3
• 申請日: 2015-12-21
• 公開（公告）號: CN105717078A
• 公開（公告）日: 2016-06-29
• 發明（設計）人: S.蘭多爾夫;J.米亞薩基;M.斯特勞
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01N21/64
• 分類號: G01N21/64;G01N23/223
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 周學斌;王傳道

1.一種用于利用光學圖像和帶電粒子圖像對樣本體積中的感興趣區域的位置進行三維相關的方法，包括：

提供包括樣本體積的樣本，所述樣本體積包含感興趣區域以及包括分布在所述樣本體積內的基準點，所述基準點在所述樣本體積的光學圖像和帶電粒子圖像兩者中都是可識別的；

使用光學系統對所述樣本體積進行成像；

使用帶電粒子束對所述樣本體積進行成像；以及

使用在所述光學圖像和帶電粒子束圖像兩者中識別的基準點的位置來使所述樣本體積中的感興趣區域的位置相關。

2.根據權利要求1所述的方法，其中所述基準點具有已知的三維形狀以及包括在它們表面上但不在它們內部的標記。

3.根據權利要求1或權利要求2所述的方法，其中使所述樣本體積中感興趣區域的位置相關包括使用一個或多個光學圖像來確定遍及所述樣本體積分布的基準點中的至少一些的三維位置以及使用一個或多個帶電粒子圖像來確定分布在所述樣本體積內的基準點的三維位置。

4.根據權利要求1或權利要求2所述的方法，其中所述樣本體積在使用光學系統對所述樣本體積進行成像的步驟和使用帶電粒子束對所述樣本體積進行成像的步驟之間改變形狀，以及其中使所述樣本體積中感興趣區域的位置相關包括重新分配帶電粒子束圖像的像素以使得光學圖像中基準點的三維位置與帶電粒子束圖像中基準點的三維位置匹配。

5.根據權利要求1或權利要求2所述的方法，其中所述基準點在使用光學系統對所述樣本體積進行成像的步驟和使用帶電粒子束對所述樣本體積進行成像的步驟之間改變形狀，以及其中使所述樣本體積中感興趣區域的位置相關包括使用基準點的形狀上的變化。

6.根據權利要求1或權利要求2所述的方法，其中所述基準點具有已知的三維形狀以及包括在它們表面上但不在它們內部的標記。

7.根據權利要求1或權利要求2所述的方法，其中分布在所述樣本體積內的基準點包括熒光球體以及其中所述熒光球體包括存在于球體表面上但并且未滲入球體內部的染料。

8.根據權利要求1或權利要求3所述的方法，其中所述基準點以足夠低的濃度分布在所述樣本體積內，所述足夠低的濃度能夠在沒有來自附近熒光標記的實質干擾的情況下對每個基準點單獨地成像。

9.根據權利要求1或權利要求2所述的方法，進一步包括在所述樣本體積和基板的交界面處的X-Y平面內的基準點的平面層，所述基準點與遍及所述樣本體積分布的那些基準點是可區分的。

10.根據權利要求1或權利要求2所述的方法，其中使用光學系統對所述樣本體積進行成像包括三維超分辨率成像。

11.根據權利要求10所述的方法，其中所述超分辨率成像包括光子激活定位顯微術。

12.根據權利要求1或2所述的方法，其中使用帶電粒子束系統通過順序成像和材料去除循環來獲得對象的三維位置。

13.根據權利要求12所述的方法，其中成像包括獲得掃描電子顯微鏡圖像以及材料去除包括用聚焦離子束研磨。

14.根據權利要求1或2所述的方法，其中所述基準點包括熒光納米粒子。

15.根據權利要求14所述的方法，其中所述納米粒子是染料功能化的球體。

16.根據權利要求15所述的方法，其中所述染料功能化的球體包含存在于球體表面上并且未滲入球體內部的染料。

17.根據權利要求15或16所述的方法，其中所述染料是可光激活的染料或蛋白質。

18.根據權利要求14所述的方法，其中所述納米粒子是量子點。

19.根據權利要求2所述的方法，其中使用一個或多個帶電粒子圖像或者一個或多個光學圖像來確定基準點的三維位置進一步包括確定基準點的三維形狀。

20.根據權利要求14所述的方法，其中使用在光學圖像和帶電粒子束圖像兩者中識別的基準點的位置進一步包括使用基準點的形狀上的變化。