[發(fā)明專利]一種真空自密封光學潔凈系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510959613.2
• 申請日: 2015-12-21
• 公開（公告）號: CN105425393A
• 公開（公告）日: 2016-03-23
• 發(fā)明（設計）人: 吳春霞;鮮玉強;陳永亮;張林;嚴從林;張偉;陳濤;葉長春;蘇友斌
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院應用電子學研究所
• 主分類號: G02B27/00
• 分類號: G02B27/00;G02B7/00
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 卿誠;吳彥峰

1.一種真空自密封光學潔凈系統(tǒng)，其特征是：包括有自密封裝置、抽真空單元、環(huán)境監(jiān)測單元、充氮氣單元和操控單元；所述自密封裝置與抽真空單元、充氮氣單元和環(huán)境監(jiān)測單元連接；所述操控單元能夠接收環(huán)境監(jiān)測單元的回傳信號并控制抽真空單元和充氮氣單元的啟停。

2.根據權利要求1所述的一種真空自密封光學潔凈系統(tǒng)，其特征是：所述自密封裝置包括有封蓋板、框架、光束輸入輸出端口、光路平臺、充氣口、真空口；所述封蓋板與框架之間固定連接；所述光路平臺與框架固定連接；所述光束輸入輸出端口、充氣口和真空口設置在框架上；所述充氣口與充氮氣單元連接；所述抽氣口與抽真空單元連接；所述環(huán)境監(jiān)測單元設置在由框架、封蓋板和光路平臺組成的封閉區(qū)域內。

3.根據權利要求2所述的一種真空自密封光學潔凈系統(tǒng)，其特征是：所述框架和封蓋板之間的接觸面上設置有密封件。

4.根據權利要求2所述的一種真空自密封光學潔凈系統(tǒng)，其特征是：所述光束輸入輸出端口與框架的接觸面上設置有密封件。

5.根據權利要求2所述的一種真空自密封光學潔凈系統(tǒng)，其特征是：所述框架上設置有加強筋。

6.根據權利要求2所述的一種真空自密封光學潔凈系統(tǒng)，其特征是：所述框架上設置有電氣連接板。

7.根據權利要求2所述的一種真空自密封光學潔凈系統(tǒng)，其特征是：所述光路平臺與框架的接觸面上設置有密封件。