[發明專利]光學感測模塊

在審

• 申請號: 201510958313.2
• 申請日: 2015-12-18
• 公開（公告）號: CN106802280A
• 公開（公告）日: 2017-06-06
• 發明（設計）人: 王欽宏;柯正達;楊省樞
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: G01N21/25
• 分類號: G01N21/25
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種光學感測模塊，其特征在于，通過感測光束感測待測物的特性，該光學感測模塊包括：

承載基板；

透光蓋體，該透光蓋體上配置反射面，該反射面具有透光開口，且該透光開口暴露出部分該透光蓋體；

側壁，該側壁配置于該承載基板的周圍，且位于該承載基板與該透光蓋體之間；

光柵，該光柵配置于該承載基板上，且該光柵的位置對應于該透光開口；以及

光學感測器，該光學感測器配置于該承載基板上，且位于該光柵旁，其中該承載基板、該側壁與該透光蓋體形成真空腔室，且該光柵與該光學感測器配置于該真空腔室內。

2.如權利要求1所述的光學感測模塊，其特征在于，該感測光束經由該透光開口進入該真空腔室并傳遞至該光柵，該光柵使在該真空腔室中傳遞的該感測光束產生繞射而傳遞至該反射面，且產生繞射后的該感測光束被該反射面反射至該光學感測器。

3.如權利要求1所述的光學感測模塊，其特征在于，該光柵包括繞射面，且該繞射面具有多個繞射結構。

4.如權利要求3所述的光學感測模塊，其特征在于，該些繞射結構的形狀為鋸齒狀或波浪狀。

5.如權利要求3所述的光學感測模塊，其特征在于，該些繞射結構沿著曲面或平面排列，其中該曲面為朝向該透光蓋體的一凹面或朝向該透光蓋體的凸面。

6.如權利要求5所述的光學感測模塊，其特征在于，該光柵還包括：

第一端，遠離該光學感測器；以及

第二端，相對于該第一端，該第二端鄰近于該光學感測器，其中該第一端與該反射面的距離小于該第二端與該反射面的距離。

7.如權利要求3所述的光學感測模塊，其特征在于，該透光開口延伸的方向與該些繞射結構延伸的方向實質上相同。

8.如權利要求1所述的光學感測模塊，其特征在于，該承載基板還包括：

基材，具有第一表面與相對于該第一表面的第二表面，其特征在于，該側壁、該光柵以及該光學感測器配置于該第一表面上；

線路層，該線路層配置于該第二表面上；

多個接墊，電連接于該線路層；

鈍化層，配置于該線路層上，且暴露出該些接墊；以及

多個導電貫孔，各該導電貫孔貫穿該基材，各該導電貫孔的一端連接至該光學感測器，且各該導電貫孔的另一端則連接至該線路層。

9.如權利要求8所述的光學感測模塊，其特征在于，該光學感測模塊還包括：

吸光層，該吸光層配置于未被該側壁、該光柵以及該光學感測器覆蓋的該第一表面上。

10.如權利要求8所述的光學感測模塊，其特征在于，該光學感測模塊還包括：

控制單元，存儲比對信息，該控制單元通過該線路層電連接于該光學感測器，該控制單元用以接收由該光學感測器傳送的光度信息，且將該光度信息與該比對信息進行比對，其中經過該待測物的該感測光束決定該光度信息。

11.如權利要求10所述的光學感測模塊，其特征在于，該光學感測模塊還包括：

溫度感測器，該溫度感測器通過該線路層電連接于該控制單元，該溫度感測器用以感測該光學感測模塊的溫度信息，并將該溫度信息傳送至該控制單元，且該控制單元依據該溫度信息決定該比對信息。

12.如權利要求1所述的光學感測模塊，其特征在于，該光學感測模塊還包括：

透光腔體，包括：

進入口，用以使該待測物進入該透光腔體；

排出口，用以使該待測物離開該透光腔體；

光源，用以發出該感測光束，其中該光源配置于該透光腔體的外表面上，且該感測光束穿透該透光腔體進入該透光開口；以及

聚焦透鏡，該聚焦透鏡配置于該感測光束的傳遞路徑上，且位于該光源 與該透光開口之間。

13.如權利要求12所述的光學感測模塊，其特征在于，該透光腔體還包括反射層，該反射層配置于該透光腔體的內表面上。

14.如權利要求1所述的光學感測模塊，其特征在于，光學感測模塊還包括模擬數字轉換器，該模擬數字轉換器配置于該承載基板與該光學感測器之間。