[發明專利]微粒制造裝置以及微粒制造方法在審
| 申請號: | 201510947370.0 | 申請日: | 2015-12-17 |
| 公開(公告)號: | CN105810548A | 公開(公告)日: | 2016-07-27 |
| 發明(設計)人: | 永井久雄;大熊崇文 | 申請(專利權)人: | 松下知識產權經營株式會社 |
| 主分類號: | H01J37/32 | 分類號: | H01J37/32;B01J19/08;B82Y40/00 |
| 代理公司: | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人: | 劉建 |
| 地址: | 日本國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 微粒 制造 裝置 以及 方法 | ||
【權利要求書】:
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