[發明專利]PERC晶體硅太陽能電池生產中的堿拋光方法在審

申請號：	201510945459.3	申請日：	2015-12-16
公開（公告）號：	CN105428450A	公開（公告）日：	2016-03-23
發明（設計）人：	黃金;李高非;王繼磊;付少劍;張娟;白炎輝	申請（專利權）人：	晉能清潔能源科技有限公司
主分類號：	H01L31/068	分類號：	H01L31/068;H01L31/18
代理公司：	鎮江京科專利商標代理有限公司 32107	代理人：	夏哲華
地址：	033000 ***	國省代碼：	山西;14
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摘要：
搜索關鍵詞：	perc 晶體太陽能電池生產中的拋光方法
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【權利要求書】：

1.一種PERC晶體硅太陽能電池生產中的堿拋光方法，其特征是：對單晶硅片進行常規的制絨、擴散、刻蝕槽去除邊緣與背面的PN結、正面PECVD鍍氮化硅膜工序后，利用帶式傳動方式刻蝕去除背表面及邊緣繞鍍氮化硅，然后經過堿槽進行背表面拋光處理；再通過原子層沉積背面鍍氧化鋁薄膜后，進行常規的激光開槽、絲網印刷正背面金屬漿料、燒結工序，制得PERC電池片。

2.根據權利要求1所述的PERC晶體硅太陽能電池生產中的堿拋光方法，其特征是：在利用帶式傳動方式刻蝕去除背表面及邊緣繞鍍氮化硅的過程中，帶速為1.8－2.3m/min，配液體積比為HNO3：HF＝10:1－4:1，刻蝕去除背表面及邊緣繞鍍氮化硅。

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