[發明專利]一種微孔填充設備

有效

• 申請號: 201510943287.6
• 申請日: 2015-12-16
• 公開（公告）號: CN106882763B
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發明（設計）人: 顧杰斌
• 申請（專利權）人: 上海邁鑄半導體科技有限公司
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種微孔填充設備，其特征在于，包括：

設備座；

設于所述設備座上的第一腔體，所述第一腔體上部開口；

設于所述第一腔體上方的蓋體；

設于所述設備座上的升降裝置，所述升降裝置與所述蓋體連接，用于帶動所述蓋體下降或上升，使所述蓋體蓋住或脫離所述第一腔體；當所述蓋體蓋住所述第一腔體時，所述蓋體與所述第一腔體構成第一密封腔；

設于所述第一腔體內的用于容置液態金屬的液態金屬槽；所述液態金屬槽上部開口，所述液態金屬槽底部設有第二密封腔；所述第二密封腔貫穿所述液態金屬槽底部，并伸入所述液態金屬中，用于將所述第二密封腔內的氣壓傳遞至所述液態金屬表面；

設于所述蓋體下表面的托具架，用于承載托具；所述托具用于承載微孔填充組件；當所述蓋體蓋住所述第一腔體形成第一密封腔時，所述微孔填充組件下表面緊貼所述液態金屬槽上表面；

所述第一腔體上設有用于調節所述第一密封腔內氣壓的第一氣體進出孔，所述第二密封腔上設有用于調節所述第二密封腔內氣壓的第二氣體進出孔。

2.根據權利要求1所述的微孔填充設備，其特征在于：所述微孔填充設備還包括設于所述設備座上的隔絕外罩，所述隔絕外罩罩住所述第一腔體、蓋體及升降裝置，用于隔絕空氣；所述隔絕外罩上設有第一托具進出窗口及用于置換空氣的第三氣體進出口。

3.根據權利要求2所述的微孔填充設備，其特征在于：所述隔絕外罩上設有至少兩個手套操作接口。

4.根據權利要求2所述的微孔填充設備，其特征在于：所述隔絕外罩與一預熱箱連接，其中，所述預熱箱與所述隔絕外罩共用部分側壁，且所述第一托具窗口位于共用的側壁上；所述預熱箱另一側壁上還設有第二托具進出窗口。

5.根據權利要求4所述的微孔填充設備，其特征在于：所述預熱箱中設有一托具傳送裝置，用于將預熱完畢的托具通過所述第一托具窗口傳送至所述托具架上。

6.根據權利要求2所述的微孔填充設備，其特征在于：所述隔絕外罩內連接有一用于觀察微孔填充狀態的顯微鏡。

7.根據權利要求6所述的微孔填充設備，其特征在于：所述隔絕外罩內設有導軌，所述顯微鏡與所述導軌連接，并在驅動裝置的作用下沿所述導軌移動；所述導軌通過設于所述隔絕外罩內頂部或內側壁的支架支撐，或者通過設于底座上的支架支撐。

8.根據權利要求6所述的微孔填充設備，其特征在于：所述顯微鏡與一影像顯示設備連接。

9.根據權利要求1所述的微孔填充設備，其特征在于：所述蓋體上設有至少一個透明觀察窗口。

10.根據權利要求1所述的微孔填充設備，其特征在于：所述蓋體下方設有一用于將所述填充組件壓緊的壓蓋；所述壓蓋通過彈性裝置與所述蓋體連接。

11.根據權利要求10所述的微孔填充設備，其特征在于：所述壓蓋為透明壓蓋。

12.根據權利要求10所述的微孔填充設備，其特征在于：所述蓋體中部設有一開口；所述彈性裝置為第一波紋管；所述第一波紋管下端通過第一法蘭與所述壓蓋密封連接、上端通過第二法蘭與所述開口邊沿密封連接。

13.根據權利要求12所述的微孔填充設備，其特征在于：所述第二法蘭上還疊加有第三法蘭；所述第三法蘭中設有至少三個螺絲孔，所述螺絲孔中設有用于頂住所述壓蓋、以使所述壓蓋緊壓所述填充組件的壓緊螺絲。

14.根據權利要求12所述的微孔填充設備，其特征在于：所述第二法蘭上還疊加有密封蓋；所述密封蓋、第一波紋管及壓塊組成第三密封腔；所述密封蓋上設有用于調節所述第三密封腔內氣壓的第四氣體進出口。