[發(fā)明專利]一種光刻機智能控制系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510913120.5
• 申請日: 2015-12-11
• 公開（公告）號: CN106873310A
• 公開（公告）日: 2017-06-20
• 發(fā)明（設計）人: 田佳聰
• 申請（專利權）人: 田佳聰
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光刻機智能控制系統(tǒng)，其特征在于：由平板工控機、數(shù)據(jù)采集卡、運動控制板卡等部分構成。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種光刻機智能控制系統(tǒng)，其特征是所述的平板工控機(主控板卡)的主控芯片采用三星的S3C2440芯片作為微處理器，為主控芯片配置了64M的SDRAM，配置256M的NandFlash來滿足對小文件的存儲，對大文件存儲則需使用SD卡實現(xiàn)，配置8in(1in=2.54cm)的觸摸屏來滿足顯示與操作的需要，觸摸屏的分辨力為800×600，采用40針FFC軟排線與主控制板卡進行連接；系統(tǒng)外設接口主要包括串口、USB接口、網絡模塊和音頻模塊。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種光刻機智能控制系統(tǒng)，其特征是所述的運動控制卡采用AT89C52作為處理器，內置電磁閥和步進電機的驅動程序；配備串口通訊模塊，采用MAX232芯片進行控制；運動控制卡中的電磁閥控制模塊使用光電耦合器耦合信號，然后通過三極管進行放大，最終驅動電磁閥。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種光刻機智能控制系統(tǒng)，其特征是所述的視頻采集卡包括院FPGA控制模塊、CCD模塊、AD轉換模塊、USB模塊；其中FPGA控制模塊采用ALTERA公司的Cyclone域系列芯片EP2C8Q208C8，AD轉換模塊使用美國ADI公司的AD9945，用于將CCD采集到的模擬圖像轉化為數(shù)字圖像；USB模塊的控制芯片為AU925A21，用于實現(xiàn)與平板工控機之間的圖像傳輸。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種光刻機智能控制系統(tǒng)，其特征是所述的光刻機智能控制系統(tǒng)采用Windows CE5.0作為操作系統(tǒng)，為了方便用戶使用，該設計在傳統(tǒng)控制的基礎上增加了智能控制和專家查詢功能；智能控制實現(xiàn)了對準到曝光的全程自動化，專家查詢功能實現(xiàn)了光刻工藝參數(shù)的自動匹配；實際使用時，用戶只需輸入所需的曝光結果和各項參數(shù)指標，光刻機將會自動完成整個曝光過程，并提供工藝參數(shù)參考數(shù)據(jù)。