[發明專利]用于反應室內旋轉石墨盤精確定位系統

有效

• 申請號: 201510912856.0
• 申請日: 2015-12-11
• 公開（公告）號: CN105470186B
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發明（設計）人: 羅超;毛朝斌;林伯奇;陳特超
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長清

1.一種用于反應室內旋轉石墨盤精確定位系統，其特征在于，包括驅動件（1）、石墨盤（4）、激光測距儀（6）和PLC控制器，所述驅動件（1）用于帶動石墨盤（4）旋轉及停止定位，所述石墨盤（4）上設置有用來放置晶圓片的凹槽（9），在所述石墨盤（4）的邊緣開了一個缺口（8）；所述激光測距儀（6）用來測量出到石墨盤（4）邊緣及缺口（8）的距離并傳送給PLC控制器，由PLC控制器作出判斷并控制驅動件（1）的啟停，所述石墨盤（4）處于一個反應腔室（5）中，所述反應腔室（5）的頂面上開設有石英觀察窗（7），所述激光測距儀（6）通過石英觀察窗（7）來進行檢測。

2.根據權利要求1所述的用于反應室內旋轉石墨盤精確定位系統，其特征在于，所述驅動件（1）與一諧波減速機（2）相連。

3.根據權利要求1所述的用于反應室內旋轉石墨盤精確定位系統，其特征在于，所述驅動件（1）采用步進電機和步進電機驅動器的組合。

4.根據權利要求1所述的用于反應室內旋轉石墨盤精確定位系統，其特征在于，所述驅動件（1）通過支撐旋轉軸（3）與石墨盤（4）相連。

5.根據權利要求1～4中任意一項所述的用于反應室內旋轉石墨盤精確定位系統，其特征在于，所述缺口（8）為U型缺口。

6.根據權利要求1所述的用于反應室內旋轉石墨盤精確定位系統，其特征在于，所述反應腔室（5）的側面上設有門縫擋板（10）。