[發明專利]電阻式熱蒸發制備鐵磁性材料Fe3Si薄膜的工藝在審
| 申請號： | 201510905584.1 | 申請日： | 2015-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN105441877A | 公開（公告）日： | 2016-03-30 |
| 發明（設計）人： | 謝泉;謝晶;劉棟;高賜國;張晉敏;肖清泉;陳茜;廖楊芳;范夢慧;黃晉 | 申請（專利權）人： | 貴州大學 |
| 主分類號： | C23C14/26 | 分類號： | C23C14/26;C23C14/16;C23C14/58 |
| 代理公司： | 貴陽中新專利商標事務所 52100 | 代理人： | 吳無懼 |
| 地址： | 550025 貴州*** | 國省代碼： | 貴州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電阻 蒸發 制備 鐵磁性 材料 fe3si 薄膜 工藝 | ||
1.一種電阻式熱蒸發制備鐵磁性材料Fe3Si薄膜的工藝，其特征在于：它包括下述步驟：
第一步驟，選取耐高溫石英片和單晶Si片作襯底，清洗吹干；
第二步驟，將鐵顆粒和硅顆粒按不同配比進行備料；
第三步驟，按上述步驟得到的不同配比鍍料，在襯底上蒸鍍一層Fe-Si混合薄膜；
第四步驟，將上述步驟得到的樣品放置于高真空熱處理爐中800～900℃退火2小時獲得Fe-Si化合物中的金屬相Fe3Si鐵磁性薄膜。
2.根據權利要求1所述的一種電阻式熱蒸發制備鐵磁性材料Fe3Si薄膜的工藝，其特征在于：在所述第二步驟中，鐵顆粒和硅顆粒以各原子百分比2.5:1-3.5:1按照總質量為0.8克換算成相應的質量百分比稱量配比。
3.根據權利要求1所述的一種電阻式熱蒸發制備鐵磁性材料Fe3Si薄膜的工藝，其特征在于：在所述第三步驟鍍料的放置中，磨細硅顆粒先鋪在蒸發鎢舟底層，相應配比的鐵顆粒鋪在硅顆粒上面；蒸鍍室真空度小于等于8.0×10-4Pa，蒸發電流90-110A，直至蒸發鎢舟中的材料蒸發完全。
4.根據權利要求1所述的一種電阻式熱蒸發制備鐵磁性材料Fe3Si薄膜的工藝，其特征在于：在所述第四步驟中，高真空熱處理爐真空度達到8.0×10-4Pa后升溫，退火溫度為800～900℃，退火時間為2小時。
5.根據權利要求4所述的一種電阻式熱蒸發制備鐵磁性材料Fe3Si薄膜的工藝，其特征在于：整個退火過程真空度不低于2.0×10-3Pa。
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