[發明專利]一種高效太陽電池的制備方法

有效

• 申請號: 201510901412.7
• 申請日: 2015-12-09
• 公開（公告）號: CN105529381B
• 公開（公告）日: 2018-09-18
• 發明（設計）人: 肖斌;宋慧娟
• 申請（專利權）人: 天合光能股份有限公司;湖北天合光能有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0352;H01L21/02
• 代理公司: 浙江永鼎律師事務所 33233
• 代理人: 郭小麗

1.一種高效太陽電池的制備方法，其特征在于，包括步驟：

將原料硅片依次經過制絨、擴散、拋光、制作選擇性發射極、鍍減反射膜和絲網印刷、燒結，得到高效太陽電池；

所述的擴散包括：在三氯氧磷氣氛中對制絨后的硅片進行單面低方阻擴散，擴散后方阻控制在50Ω/□-55Ω/□；

所述的拋光包括：硅片的擴散面朝上放入60℃-80℃堿溶液中進行背面拋光，清洗，烘干；

拋光過程中，所述的堿溶液是質量百分濃度為10％-35％的KOH水溶液或者質量百分濃度為10％-35％的NaOH水溶液；所述背面拋光的時間為5.5min-8.0min；拋光過程中，所述硅片以1.5m/min-2.2m/min的速率通過60℃-80℃堿溶液；

所述的制作選擇性發射極包括：a.在拋光后的硅片的電極柵線區域印刷油墨作為掩模，烘干；

b.刻蝕：將硅片的擴散面朝上，在擴散面鋪滿水膜，放入第一HNO₃/HF混合水溶液中對硅片背面進行第二次背面拋光，清洗；再將硅片放入第二HNO₃/HF混合水溶液中對無油墨保護的發射極區域進行正刻蝕，形成淺擴散層，清洗；

所述的第一HNO₃/HF混合水溶液中HNO₃的質量百分濃度為30％-42％，HF的質量百分濃度為2％-10％；所述的第二HNO₃/HF混合水溶液中HNO₃的質量百分濃度為10％-26％，HF的質量百分濃度為2％-12％；

c.去油墨處理：將硅片依次經過20℃-30℃粗堿溶液和20℃-30℃精堿溶液將油墨洗掉，形成清晰的蠟印區域，清洗后將硅片放入HF水溶液中去除硅片上存在的氧化層，清洗，烘干，硅片上形成選擇性發射極。

2.根據權利要求1所述的高效太陽電池的制備方法，其特征在于，步驟b中，所述第二次背面拋光的時間為1.36min-2.00min；所述正刻蝕的時間為0.55min-0.8min。

3.根據權利要求1所述的高效太陽電池的制備方法，其特征在于，步驟b中，所述的第一HNO₃/HF混合水溶液的溫度為10℃±2℃，所述的第二HNO₃/HF混合水溶液的溫度為10℃±2℃。

4.根據權利要求1所述的高效太陽電池的制備方法，其特征在于，步驟b中，所述硅片以1.5m/min-2.2m/min的速率通過第一HNO₃/HF混合水溶液和第二HNO₃/HF混合水溶液。

5.根據權利要求1所述的高效太陽電池的制備方法，其特征在于，步驟c中，所述的粗堿溶液是質量百分濃度為7％-14％的KOH水溶液或者質量百分濃度為7％-14％的NaOH水溶液；

所述的精堿溶液是質量百分濃度為4％-12％的KOH水溶液或者質量百分濃度為4％-12％的NaOH水溶液。

6.根據權利要求1所述的高效太陽電池的制備方法，其特征在于，步驟c中，所述的HF水溶液的質量百分濃度為4％-12％。