[發明專利]一種雙端音叉角速度傳感器芯片

在審

• 申請號: 201510894930.0
• 申請日: 2015-12-08
• 公開（公告）號: CN105424021A
• 公開（公告）日: 2016-03-23
• 發明（設計）人: 林丙濤;蔣昭興;翁邦英
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第二十六研究所
• 主分類號: G01C19/5747
• 分類號: G01C19/5747
• 代理公司: 重慶博凱知識產權代理有限公司 50212
• 代理人: 李海華

1.一種雙端音叉角速度傳感器芯片，包括驅動梁、檢測梁、中間塊、兩固定塊和兩連接橋，其特征在于：所述驅動梁和檢測梁分別為兩塊，驅動梁、檢測梁的長度方向均沿Y向設置并位于同一平面；兩驅動梁的一端部分別連接于中間塊同一側，兩檢測梁的一端部分別連接于中間塊與驅動梁相對的另一側；其中一驅動梁與其中一檢測梁位于同一直線上，另一驅動梁與另一檢測梁位于同一直線上；兩連接橋的一端連接于中間塊X向兩側，兩連接橋的另一端分別與固定塊連接；

所述驅動梁的正面和背面至少一個面上設有沿長度方向的凹槽，該凹槽的開口方向與驅動梁的振動方向垂直，在凹槽的內壁以及驅動梁的兩側壁分別覆蓋有用于連接激勵電源的電極，兩根驅動梁通過與激勵電源不同極性的連接使之沿X方向作相反振動；

所述檢測梁的側壁覆蓋有平行分開的敏感電極，用于收集Z向平面外振動所引起的檢測梁表面的壓電電荷。

2.根據權利要求1所述的雙端音叉角速度傳感器芯片，其特征在于：所述連接橋的厚度小于中間塊和固定塊的厚度。

3.根據權利要求1所述的雙端音叉角速度傳感器芯片，其特征在于：所述凹槽由兩側平行的深凹槽和位于兩個深凹槽之間且與兩個深凹槽連為一體的淺凹槽構成，凹槽上的電極覆蓋兩側深凹槽和淺凹槽。

4.根據權利要求1所述的雙端音叉角速度傳感器芯片，其特征在于：所述驅動梁、檢測梁、中間塊、固定塊和連接橋在同一塊基材上一體制作而成，該基材為具有壓電效應的石英晶體。