[發(fā)明專利]光掩膜版用石英玻璃基板的退火工藝在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201510878336.2 | 申請(qǐng)日： | 2015-12-04 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN105417939A | 公開(kāi)（公告）日： | 2016-03-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 沈建興 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 太倉(cāng)市建興石英玻璃廠 |
| 主分類號(hào)： | C03B25/00 | 分類號(hào)： | C03B25/00 |
| 代理公司： | 北京瑞思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11341 | 代理人： | 張建生 |
| 地址： | 215499 江蘇*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 光掩膜版用 石英玻璃 退火 工藝 | ||
1.一種光掩膜版用石英玻璃基板的退火工藝，其特征在于，包括如下步驟：
（1）加熱：將石英玻璃基板置于程序加熱爐內(nèi)，以兩端式升溫速率快速升溫至1150～1200℃；
（2）時(shí)效處理：將步驟（1）中升溫后的石英玻璃基板恒溫保持一定時(shí)間；
（3）降溫：將步驟（2）中時(shí)效處理后的石英玻璃程序降溫至一定溫度，再關(guān)閉程序加熱爐的電源，隨爐冷卻至室溫。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩膜版用石英玻璃基板的退火工藝，其特征在于，所述步驟（1）中，所述兩段式升溫速率為：先以300～350℃/h的速率從室溫升溫至800℃，再以450～500℃/h的速率從800℃升溫至1150～1200℃。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩膜版用石英玻璃基板的退火工藝，其特征在于，所述步驟（2）中，所述恒溫保持時(shí)間為15～20天。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩膜版用石英玻璃基板的退火工藝，其特征在于，所述步驟（3）中，所述程序降溫方式為：先以1～2℃/min的速率降溫至1000℃，再以2～4℃/min的速率降溫至850℃。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于太倉(cāng)市建興石英玻璃廠，未經(jīng)太倉(cāng)市建興石英玻璃廠許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201510878336.2/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：一種無(wú)鉛玻璃粉
- 下一篇：封閉式糞便低溫處理系統(tǒng)
