[發明專利]一種隔膜泵

在審

• 申請號: 201510875109.4
• 申請日: 2015-11-26
• 公開（公告）號: CN105370549A
• 公開（公告）日: 2016-03-02
• 發明（設計）人: 劉平
• 申請（專利權）人: 劉平
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種隔膜泵，包括：由基座(1)、壓電懸臂梁(2)構成的動力端和液力端(3)，其中壓電懸臂梁(2)一端與基座(1)連接，另一端與液力端(3)的第一側腔體(31)連接，基座(1)上的支撐臂與液力端(3)的第二側腔體(32)連接；液力端(3)由橡膠材料構成的片狀第一側腔體(31)和第二側腔體(32)內側表面相對布置，邊緣密封形成泵腔，由壓電懸臂梁(2)帶動第一側腔體(31)彎曲實現所述泵腔的體積發生改變，結合第二側腔體(32)上安裝的進口單向閥(34)和出口單向閥(35)，實現流體從入口管(36)流入、出口管(37)流出的運動；其特征在于：所述基座(1)上的各支撐臂和壓電懸臂梁(2)中心線相互平行，所述動力端可以與液力端(3)組裝與拆卸；所述壓電懸臂梁(2)與所述支撐臂交錯布置，即在第一側腔體(31)和第二側腔體(32)結合面上的投影無重合區域。

2.根據權利要求1所述的隔膜泵，其特征在于：所述支撐臂可以用支撐壓電懸臂梁替換，此時連接在第一側腔體(31)上的壓電懸臂梁(2)與連接在第二側腔體連接的支撐壓電懸臂梁運動方向相反。

3.根據權利要求1所述的隔膜泵，其特征在于：所述壓電懸臂梁(2)是一個單晶片壓電懸臂梁或雙晶片壓電懸臂梁；所述單晶片壓電懸臂梁是壓電材料薄片(21)層合到彈性基板(22)上構成的；所述雙晶片壓電懸臂梁是將彈性基板(22)層合在兩個極化方向相同的壓電材料薄片(21)之間構成的。