[發明專利]用于薄膜太陽能電池的前電極及其制備方法和薄膜太陽能電池

有效

• 申請號: 201510870600.8
• 申請日: 2015-12-02
• 公開（公告）號: CN106816482B
• 公開（公告）日: 2018-11-13
• 發明（設計）人: 郭凱;于濤;張傳升;宋斌斌;左寧;李新連
• 申請（專利權）人: 神華（北京）光伏科技研發有限公司
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/0392
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 嚴政;劉兵

1.一種用于薄膜太陽能電池的前電極，包括：

第一透明導電材料薄膜；

金屬薄膜，設置在所述第一透明導電材料薄膜上；

第二透明導電材料薄膜，設置在所述金屬薄膜上；和

電池金屬柵線，設置在所述第二透明導電材料薄膜上；

其特征在于，所述金屬薄膜和電池金屬柵線具有相同的圖案，且所述金屬薄膜設置在所述電池金屬柵線的正下方，所述電池金屬柵線將所述金屬薄膜遮擋住；

所述金屬薄膜為Ag薄膜、Mo薄膜或Au薄膜。

2.根據權利要求1所述的前電極，其中，所述第一透明導電材料薄膜和所述第二透明導電材料薄膜的厚度相同為25-60nm。

3.根據權利要求2所述的前電極，其中，所述第一透明導電材料薄膜和所述第二透明導電材料薄膜各自為摻鋁氧化鋅薄膜、銦錫氧化物薄膜或摻鎵氧化鋅薄膜。

4.根據權利要求1所述的前電極，其中，所述金屬薄膜的厚度為5-15nm。

5.根據權利要求1所述的前電極，其中，所述電池金屬柵線為Ni-Al或者Ni-Ag，Ni的厚度為45-55nm，Al或Ag的厚度為0.5-5μm。

6.根據權利要求1所述的前電極，其中，所述電池金屬柵線的寬度為50-300μm。

7.根據權利要求1所述的前電極，其中，所述電池金屬柵極為多條，不同所述電池金屬柵極之間的間距為1-2mm。

8.一種薄膜太陽能電池的前電極的制備方法，包括：

(1)形成第一透明導電材料薄膜；

(2)以掩膜板覆蓋所述第一透明導電材料薄膜，通過所述掩膜板生長金屬薄膜，然后撤去所述掩膜板；

(3)在所述金屬薄膜上形成第二透明導電材料薄膜；

(4)以所述掩膜板覆蓋所述第二透明導電材料薄膜，通過所述掩膜板生長與所述金屬薄膜完全重合的電池金屬柵線。

9.根據權利要求8所述的方法，其中，使用磁控濺射的方法形成所述第一透明導電材料薄膜和所述第二透明導電材料薄膜。

10.根據權利要求9所述的方法，其中，所述第一透明導電材料薄膜和所述第二透明導電材料薄膜的厚度相同為25-60nm。

11.根據權利要求10所述的方法，其中，所述第一透明導電材料薄膜和所述第二透明導電材料薄膜各自為摻鋁氧化鋅薄膜、銦錫氧化物薄膜或摻鎵氧化鋅薄膜。

12.根據權利要求8所述的方法，其中，使用電子束蒸發的方法生長所述金屬薄膜和所述電池金屬柵線。

13.根據權利要求12所述的方法，其中，所述金屬薄膜的厚度為5-15nm。

14.根據權利要求13所述的方法，其中，所述金屬薄膜為Ag薄膜、Mo薄膜或Au薄膜。

15.根據權利要求8所述的方法，其中，

所述電池金屬柵線為Ni-Al或者Ni-Ag，Ni的厚度為45-55nm，Al或Ag的厚度為0.5-5μm。

16.根據權利要求15所述的方法，其中，所述電池金屬柵線的寬度為50-300μm；所述電池金屬柵極為多條，不同所述電池金屬柵極之間的間距為1-2mm。

17.一種薄膜太陽能電池，該薄膜太陽能電池包括的前電極為權利要求1-7中任意一項所述的用于薄膜太陽能電池的前電極。