[發明專利]多掩模對準系統和方法

有效

• 申請號: 201510869520.0
• 申請日: 2015-10-16
• 公開（公告）號: CN105525256B
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發明（設計）人: 布賴恩·阿瑟·布奇
• 申請（專利權）人: 阿德文泰克全球有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C16/04
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 趙曉祎;戚傳江

1.一種多陰影掩模對準系統，包括：

載體，所述載體包括貫穿其的多個孔徑，每個孔徑具有與其相關 聯的：

組合框和陰影掩模，所述組合框和陰影掩模被定位在所述載體的 第一側，所述框支撐所述陰影掩模與所述孔徑對準；

對準系統，所述對準系統被定位在所述載體的與所述第一側相反 的第二側，并且被操作用于相對于所述載體調整所述組合框和陰影掩 模的位置；以及

控制系統，所述控制系統包括與所述對準系統聯接的可編程控制 器，所述控制器被操作用于基于通過所述控制系統確定的所述組合框 和陰影掩模的第一組對準特征中的每一個的位置來控制所述對準系統 以精確或精準地對準所述組合框和陰影掩模。

2.根據權利要求1所述的對準系統，其中所述控制包括聯接至所 述控制器的數碼相機，所述數碼相機被定位在所述組合框和陰影掩模 的與所述載體的相反的一側，所述數碼相機被操作用于獲取包括第一 組對準特征的數碼圖像并將其轉遞至所述控制器，所述控制器被操作 用于處所述數碼圖像，并用于基于所處理的數碼圖像，使所述對準系 統精確或精準地對準所述組合框和陰影掩模的所述位置，以使得所述 第一組對準特征被對準至所述控制器的存儲器中所存儲的預定的坐標 組。

3.根據權利要求1所述的對準系統，進一步的包括對準襯底，所 述對準襯底被定位于所述組合框和陰影掩模的與所述載體相反的一 側，所述對準襯底包括第二組對準特征，其中所述控制系統包括數碼 相機，所述數碼相機被聯接至所述控制器并被定位于所述對準襯底的 與所述組合框和陰影掩模相反的一側，所述數碼相機被操作用于獲取 包括所述第一組和第二組對準特征的數碼圖像并將其轉遞至所述控制 器，所述控制器被操作用于處理所述數碼圖像，并用于基于所處理的 數碼圖像，使所述對準系統精確或精準地對準所述組合框和陰影掩模 的所述位置，以對準所述第一組和第二組對準特征。

4.根據權利要求1所述的對準系統，其中：

所述載體包括第二組對準特征；

對于每個孔徑，所述控制系統包括多個光源-光接收器對，每個光 源-光接收器對在其之間限定光路，其中在每個光路中，定位所述第一 組對準特征的一個對準特征和所述第二組對準特征的一個對準特征； 以及

所述控制器被操作用于處理所述光接收器的輸出，且基于所述光 接收器的所處理的輸出，用于使所述對準系統精確或精準地對準所述 組合框和陰影掩模的所述位置，以對準每個光路中的所述第一組對準 特征的所述一個對準特征和所述第二組對準特征的所述一個對準特 征。

5.根據權利要求1所述的對準系統，其中：

所述對準系統被操作用于調整多個組合框和陰影掩模的位置；以 及

所述控制器被操作用于使所述對準系統對準多個組合框和陰影掩 模。

6.根據權利要求1所述的對準系統，其中：

所述對準系統被操作用于在兩個或更多個X、Y和θ方向上調整 所述組合框和陰影掩模的所述位置；

所述X和Y方向平行于所述載體的所述第一側；并且

所述θ方向繞正交于所述載體的所述第一側的Z方向旋轉。

7.根據權利要求1所述的對準系統，其中在所述框上包括所述第 一組對準特征。

8.根據權利要求1所述的對準系統，其中每個對準特征是下列之 一：視覺標記或孔。

9.根據權利要求3所述的對準系統，其中所述對準襯底是透明的。

10.根據權利要求4所述的對準系統，其中所述對準襯底是透明 的。