[發明專利]一種新型機器人及其制作方法

在審

• 申請號: 201510867477.4
• 申請日: 2015-12-02
• 公開（公告）號: CN105352937A
• 公開（公告）日: 2016-02-24
• 發明（設計）人: 鐘林超
• 申請（專利權）人: 鐘林超
• 主分類號: G01N21/66
• 分類號: G01N21/66;B25J19/04
• 代理公司: 北京高航知識產權代理有限公司 11530
• 代理人: 趙永強

1.一種新型機器人，其特征在于，在機器人的外部安裝氣體檢測模塊，該氣體檢測模塊包括柔性基底、發光層、空穴傳輸層、絲網狀陰極，其中，柔性襯底為導電塑料ITO-PET，多孔結構YSZ為空穴傳輸層。

2.根據權利要求1所述的機器人，其特征在于，所述YSZ漿料厚度為2μm涂覆在導電塑料表面。

3.一種新型機器人的制作方法，其特征在于，在機器人的外部安裝氣體檢測模塊，該氣體檢測模塊的制作步驟如下：

有機電致發光氣體傳感器制備工藝涉及薄膜技術及薄膜處理工藝等，主要包括有機小分子或高分子聚合物等的有機薄膜的制備、金屬電極的制備和器件封裝等工藝；

具體步驟為：導電塑料ITO-PET表面清洗及處理，基片置于真空腔，真空蒸鍍有機層，蒸鍍金屬電極，封裝或測試；

(1)導電塑料ITO-PET清洗

首先，切割特定尺寸的ITO-PET，用專用洗滌劑和無塵布對ITO-PET基片進行搓洗，以去除基片上的各種油污物，然后依次放入復合生物酶液(可選)，去離子水、丙酮、乙醇中，各超聲15min；然后，用高純氮氣吹干ITO-PET，使乙醇蒸發，然后放入預處理腔中，持續通入高純氧氣，用等離子體轟擊基片5min；

所述復合生物酶的成分為：堿性蛋白酶0.2-0.5g/L,纖維素酶0.9-1.3g/L，多酚氧化酶0.05g/L，其余為去離子水。

(2)多孔結構YSZ制備

a)稱取適量的Ni(NO₃)₂·6H₂O和去離子水放入燒杯中充分溶解，在磁力攪拌的作用下用分液漏斗緩慢滴入氨水，使之充分反應，滴定完畢后80℃水浴1h得到懸濁液，經離心機分離得到沉淀物，然后放入箱式爐中300℃保溫5h即可得到黑色的NiO粉末；

b)稱取YSZ和NiO粉末，按質量比5:6放入球磨機中，再加入一定量的分散劑和乙醇，使之充分混合，得到YSZ漿料；

c)將YSZ漿料采用絲網印刷技術涂覆在導電塑料ITO-PET表面，厚度為2μm，放入烘干箱中烘干；

(3)有機薄膜蒸鍍

a)把待蒸發的有機材料(Alq3、CuPc)放入相應的蒸發舟中，并用掩膜擋住；

b)把烘干后的導電塑料基片從預處理腔傳送到有機腔，將基片置于有機腔內的樣品托上，對準有機束源；

c)對有機腔進行抽真空，當真空達到所需數值時，調節蒸發爐溫控儀，增加蒸發溫度，對材料進行加熱，條件合適后，依次蒸鍍有機材料Alq3、CuPc，控制蒸鍍速率與時間，使之厚度分別為3.5μm、2μm；

(4)絲網狀金屬陰極制備

當各種有機薄膜蒸鍍完畢后，將基片取出，覆蓋絲網狀電極掩模版，隨后將基片送入金屬蒸鍍室，抽真空使氣壓保持在1.5×10^-3，進行金屬電極的蒸鍍，調節電流，使Cr:Al的蒸鍍比例為7:1，得到厚度為3μm的Cr:Al電極。