[發明專利]一種非球面方程的測量方法在審
| 申請號： | 201510865940.1 | 申請日： | 2015-12-01 |
| 公開（公告）號： | CN105547179A | 公開（公告）日： | 2016-05-04 |
| 發明（設計）人： | 高松濤;苗二龍;武東城;隋永新;楊懷江 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 130000 吉林省長春*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 球面 方程 測量方法 | ||
1.一種非球面方程的測量方法，其特征在于，包括：
1)利用移相干涉儀測量被測非球面的環形面形圖，利用測距干涉儀測 量被測非球面距離上一環形面形圖測量點的相對位移量；
2)依據所述移相干涉儀測量的環形面形圖，計算獲得在測量點對應的 “零條紋”半徑；
3)依據所述“零條紋”半徑、所述測距干涉儀測量的相對位移量以及 非球面方程的導數表達式，采用迭代優化法計算出被測非球面的方程。
2.按照權利要求1所述非球面方程的測量方法，其特征在于，所述依 據所述移相干涉儀測量的環形面形圖，計算獲得在測量點對應的“零條紋” 半徑，包括：
如果環形干涉條紋與圖像中心點不連通，在環形面形圖上采用數值微 分法計算出滿足閾值要求的坐標，而后采用最小二乘法計算獲得在測量點 對應的“零條紋”半徑；
如果環形干涉條紋與圖像中心點連通，采用Zernike的離焦和球差擬合 法，計算獲得在測量點對應的“零條紋”半徑。
3.按照權利要求2所述非球面方程的測量方法，其特征在于，所述采 用Zernike的離焦和球差擬合法，計算獲得在測量點對應的“零條紋”半徑 公式為：
其中，a1表示離焦系數，a2表示球差系數，且所述a1和a2可通過對環形 面形圖進行Zernike擬合獲得。
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