[發(fā)明專利]一種分度回轉(zhuǎn)工作臺(tái)及分度回轉(zhuǎn)工作臺(tái)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510859898.2
• 申請(qǐng)日: 2015-12-01
• 公開（公告）號(hào): CN105415146B
• 公開（公告）日: 2019-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張敏杰;王仲康;楊生榮;張文斌;張景瑞
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京中電科電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): B24B27/00
• 分類號(hào): B24B27/00;B24B41/00;B24B7/22
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;安利霞

本發(fā)明提供了一種分度回轉(zhuǎn)工作臺(tái)及分度回轉(zhuǎn)工作臺(tái)系統(tǒng)，其中，分度回轉(zhuǎn)工作臺(tái)包括：旋轉(zhuǎn)氣浮結(jié)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)控制結(jié)構(gòu)、轉(zhuǎn)盤架、底座和多個(gè)用于放置待處理件的承片臺(tái)；所述驅(qū)動(dòng)控制結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)氣浮結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)預(yù)設(shè)的角度，帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)盤架和所述承片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)，使所述承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)至對(duì)應(yīng)的工位。本發(fā)明提供的所述分度回轉(zhuǎn)工作臺(tái)通過設(shè)置旋轉(zhuǎn)氣浮結(jié)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)控制結(jié)構(gòu)、轉(zhuǎn)盤架、底座和多個(gè)用于放置待處理件的承片臺(tái)，使得待處理件能夠在分度回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的旋轉(zhuǎn)下，實(shí)現(xiàn)多個(gè)工位間的轉(zhuǎn)換，將多個(gè)工藝集成一體化，即在同一個(gè)承片臺(tái)上完成多個(gè)工藝，解決現(xiàn)有技術(shù)中晶片在工藝流程中各設(shè)備間的傳遞造成大量碎片的問題，提高了設(shè)備穩(wěn)定性和工作效率，降低了能源浪費(fèi)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體專用設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是指一種分度回轉(zhuǎn)工作臺(tái)及分度回轉(zhuǎn)工作臺(tái)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

面向當(dāng)今先進(jìn)封裝市場，對(duì)晶圓減薄超薄化、超大片的需求越來越高，晶圓在自身的重力作用下發(fā)生彎曲變形，極易發(fā)生碎片。然而，在傳統(tǒng)加工工藝中，晶片在工藝流程中各設(shè)備間的傳遞加大了造成大量碎片的可能性，并且碎片不僅極大地影響了生產(chǎn)效率，干擾了設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性，影響磨削質(zhì)量，同時(shí)還造成了能源浪費(fèi)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種分度回轉(zhuǎn)工作臺(tái)及分度回轉(zhuǎn)工作臺(tái)系統(tǒng)，解決現(xiàn)有技術(shù)中晶片在工藝流程中各設(shè)備間的傳遞造成大量碎片的問題。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明實(shí)施例提供一種分度回轉(zhuǎn)工作臺(tái)，包括：

旋轉(zhuǎn)氣浮結(jié)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)控制結(jié)構(gòu)、轉(zhuǎn)盤架、底座和多個(gè)用于放置待處理件的承片臺(tái)；

其中，所述旋轉(zhuǎn)氣浮結(jié)構(gòu)包括連接軸和與所述連接軸的中部固定相連的承載臺(tái)；

所述轉(zhuǎn)盤架包括固定軸和與所述固定軸的上端部分固定相連的轉(zhuǎn)盤臺(tái)，所述轉(zhuǎn)盤臺(tái)上設(shè)有多個(gè)通孔；

所述旋轉(zhuǎn)氣浮結(jié)構(gòu)通過所述連接軸的下端部分穿設(shè)固定在所述底座上，通過所述連接軸的上端部分與所述轉(zhuǎn)盤架的固定軸的下端部分固定相連；

所述承片臺(tái)的下端部分固定設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)氣浮結(jié)構(gòu)的承載臺(tái)上，且上端部分從對(duì)應(yīng)位置的所述轉(zhuǎn)盤臺(tái)的通孔中露出；

所述驅(qū)動(dòng)控制結(jié)構(gòu)與所述連接軸的下端部分從所述底座中穿出的部分固定相連；

所述驅(qū)動(dòng)控制結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)氣浮結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)預(yù)設(shè)的角度，帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)盤架和所述承片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)，使所述承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)至對(duì)應(yīng)的工位。

可選地，所述底座上設(shè)有第一安裝孔，所述連接軸的下端部分通過所述第一安裝孔穿設(shè)固定在所述底座上。

可選地，所述第一安裝孔的周邊設(shè)有凸臺(tái)，所述連接軸的下端部分的其中一部分與所述凸臺(tái)卡接相連，另一部分所述連接軸的下端部分穿過所述第一安裝孔露出。

可選地，所述固定軸的下端部分設(shè)有第二安裝孔，所述連接軸的上端部分通過所述第二安裝孔與所述固定軸的下端部分固定相連。

可選地，所述第二安裝孔的周邊設(shè)有法蘭結(jié)構(gòu)，所述連接軸的上端部分的其中一部分插設(shè)于所述第二安裝孔內(nèi)，另一部分所述連接軸的上端部分通過螺釘與所述法蘭結(jié)構(gòu)固定相連。

可選地，所述驅(qū)動(dòng)控制結(jié)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)編碼器和電機(jī)；

其中，所述旋轉(zhuǎn)編碼器固定套設(shè)于所述連接軸的下端部分從所述底座中穿出的部分結(jié)構(gòu)上，所述電機(jī)與所述連接軸的下端部分端面固定相連。

可選地，所述承載臺(tái)的邊緣處設(shè)有安裝耳，所述承片臺(tái)的下端部分通過螺釘與所述安裝耳固定相連。

可選地，所述承片臺(tái)的數(shù)量為4個(gè)，所述轉(zhuǎn)盤臺(tái)是以90度為分度的四分度轉(zhuǎn)盤臺(tái)；

所述通孔的數(shù)量為4個(gè)，且所述通孔的位置與所述承片臺(tái)的位置相適應(yīng)。