[發明專利]一種激光波長修正式角反射鏡激光干涉儀及測量方法

在審

• 申請號: 201510852430.0
• 申請日: 2015-11-27
• 公開（公告）號: CN105352435A
• 公開（公告）日: 2016-02-24
• 發明（設計）人: 許誠昕;馬文英;凌味未;黃金;張白
• 申請（專利權）人: 成都信息工程大學
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02;G01B11/02
• 代理公司: 四川力久律師事務所 51221
• 代理人: 韓洋

1.一種激光波長修正式角反射鏡激光干涉儀，其特征在于，包括激光源、固定角反射鏡、光電探測器、測量角反射鏡裝置和分光鏡，所述測量角反射鏡裝置包括測量角反射鏡與精密位移裝置，所述激光源射出的激光束經所述分光鏡后分為第一激光束和第二激光束，第一激光束射向所述固定角反射鏡，經所述固定角反射鏡反射后再次射向所述分光鏡，再經分光鏡后射向所述光電探測器，第二激光束射向所述測量角反射鏡，經所述測量角反射鏡反射后再次射向所述分光鏡，經分光鏡后射向所述光電探測器，第一激光束與第二激光束在射向所述光電探測器時發生干涉，所述測量角反射鏡設置在所述精密位移裝置上，所述精密位移裝置設置在被測物體上，所述精密位移裝置為所述測量角反射鏡提供與被測物體位移同向或反向的位移。

2.如權利要求1所述的激光波長修正式角反射鏡激光干涉儀，其特征在于，所述精密位移裝置包括支撐平臺和設置在所述支撐平臺上的驅動裝置，所述支撐平臺與所述被測物體相配合，所述驅動裝置為所述測量角反射鏡提供在被測物體位移方向上的位移。

3.如權利要求2所述的激光波長修正式角反射鏡激光干涉儀，其特征在于，所述驅動裝置為壓電陶瓷型驅動裝置。

4.如權利要求2或3所述的激光波長修正式角反射鏡激光干涉儀，其特征在于，還包括設置在所述支撐平臺上的第一位移件和設置在所述第一位移件上的第二位移件，所述驅動裝置與所述第一位移件相配合，為所述第一位移件提供沿所述支撐平臺的位移，所述第一位移件具有一相對于其位移方向傾斜的斜面，所述第二位移件滑動設置在所述第一位移件的斜面上，使所述第二位移件可沿所述第一位移件的斜面滑動，所述第一位移件與第二位移件之間貼緊配合，所述測量角反射鏡設置在所述第二位移件上，所述支撐平臺上還設置有約束裝置，所述約束裝置限制所述第二位移件沿所述第一位移件位移方向上的運動，使得當第一位移件被所述驅動裝置帶動而產生位移時，所述第二位移件被所述第一位移件帶動而產生位移，并且，所述第二位移件的位移方向與所述第一位移件的位移方向相垂直，所述第一位移件的斜面與其位移方向的夾角為A度，0<A<45。

5.如權利要求4所述的激光波長修正式角反射鏡激光干涉儀，其特征在于，所述第一位移件與所述支撐平臺之間還設置有具有磁性的磁性件，所述第二位移件具有磁性，所述第二位移件與所述磁性件為異性相吸狀態。

6.如權利要求4所述的激光波長修正式角反射鏡激光干涉儀，其特征在于，所述第二位移件與所述測量角反射鏡為一體式結構。