[發(fā)明專(zhuān)利]一種流化裝置和流化工藝

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510852425.X
• 申請(qǐng)日: 2015-11-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105268370A
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-01-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐成;朱劉;劉留
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 清遠(yuǎn)先導(dǎo)材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B01J2/04
• 分類(lèi)號(hào): B01J2/04;C07F5/00
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 趙青朵

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種流化裝置和流化工藝。

背景技術(shù)

三甲基銦作為L(zhǎng)ED行業(yè)的主要原料，廣泛應(yīng)用于MOCVD、分子束外延領(lǐng)域。三甲基銦性質(zhì)活潑，遇水爆炸、遇空氣自燃，為白色結(jié)晶固體。而其在MOCVD的應(yīng)用過(guò)程中，需要顆粒粒徑均勻、流動(dòng)性好，因?yàn)榇蟮念w粒會(huì)增加物料在使用過(guò)程中的氣體接觸面積，使用過(guò)程中流量會(huì)更加穩(wěn)定，使用量更徹底。現(xiàn)有技術(shù)中無(wú)法按照要求制作出制定大小的三甲基銦，所以在利用率方面一瓶350g裝三甲基銦利用率最高只能做到85％～90％，剩下的10％～15％無(wú)法使用。

現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)三甲基銦粒度的控制大都為在生產(chǎn)線上控制，具體為在精餾生產(chǎn)中，生產(chǎn)出顆粒大小不均勻的三甲基銦直接進(jìn)入冷凝器冷凝，并且通過(guò)控制冷凝回流比從而使得冷凝速度慢，會(huì)直接影響生產(chǎn)線的進(jìn)度，而此種冷凝方式結(jié)晶效果最終也不好，從而導(dǎo)致利用率低。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種流化裝置，本發(fā)明提供的流化裝置流化的三甲基銦顆粒大、流動(dòng)性好并且利用率高。

本發(fā)明提供了一種流化裝置，包括：融化裝置和入口與所述融化裝置的出口相連的結(jié)晶裝置；

所述結(jié)晶裝置為側(cè)壁設(shè)置有夾套的箱體，所述箱體上部設(shè)置有入口，下部設(shè)置有物料接收裝置；

箱體的夾套內(nèi)設(shè)置有冷凝物質(zhì)；

箱體內(nèi)設(shè)置有多孔冷凝氣管。

優(yōu)選的，所述冷凝氣管穿過(guò)箱體的夾套進(jìn)入箱體內(nèi)。

優(yōu)選的，所述冷凝氣管上的孔均勻分布。

優(yōu)選的，所述冷凝氣管上的孔徑由冷凝氣管的入口至出口方向逐漸變大。

優(yōu)選的，所述結(jié)晶裝置的箱體入口設(shè)置有滴加裝置。

優(yōu)選的，所述融化裝置側(cè)壁設(shè)置有夾套，所述夾套內(nèi)設(shè)置有加熱物質(zhì)。

本發(fā)明提供了一種采用上述技術(shù)方案所述的流化裝置流化三甲基銦的工藝，包括：

將三甲基銦置入融化裝置加熱融化，經(jīng)結(jié)晶裝置內(nèi)的夾套和冷凝氣管冷凝，在接收裝置上得到流化的三甲基銦；

所述冷凝氣管中氣體流速為10～30L/min。

優(yōu)選的，所述結(jié)晶裝置的箱體入口設(shè)置有滴加裝置，所述滴加速度為10～60d/min。

優(yōu)選的，所述融化時(shí)間為2～3h。

優(yōu)選的，所述加熱溫度為90～110℃。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供了一種流化裝置，包括：融化裝置和入口與所述融化裝置的出口相連的結(jié)晶裝置；所述結(jié)晶裝置為側(cè)壁設(shè)置有夾套的箱體，所述箱體上部設(shè)置有入口，下部設(shè)置有物料接收裝置；箱體的夾套內(nèi)設(shè)置有冷凝物質(zhì)；箱體內(nèi)設(shè)置有多孔冷凝氣管。本發(fā)明提供的流化裝置通過(guò)將三甲基銦熔融后，由融化裝置出口出，再由結(jié)晶裝置入口進(jìn)入箱體，通過(guò)箱體和冷凝氣管的雙重冷凝作用，使得對(duì)于熔融三甲基銦冷凝效果極好；并且冷凝氣體通過(guò)冷凝氣管上的孔吹掃滴落的三甲基銦，使得最終在接收裝置接收到的三甲基銦顆粒大、均勻、并且流動(dòng)性好并且利用率高。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例所示的流化裝置立體圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例所示的流化裝置側(cè)視圖。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明提供了一種流化裝置，包括：融化裝置和入口與所述融化裝置的出口相連的結(jié)晶裝置；

所述結(jié)晶裝置為側(cè)壁設(shè)置有夾套的箱體，所述箱體上部設(shè)置有入口，下部設(shè)置有物料接收裝置；

箱體的夾套內(nèi)設(shè)置有冷凝物質(zhì)；

箱體內(nèi)設(shè)置有多孔冷凝氣管。

本發(fā)明提供的流化裝置包括融化裝置。所述融化裝置優(yōu)選為夾套裝置，更優(yōu)選融化裝置的側(cè)壁設(shè)置有夾套，所述夾套裝置的夾套內(nèi)設(shè)置有加熱物質(zhì)。

本發(fā)明對(duì)于所述融化裝置的形狀和規(guī)格不進(jìn)行限定，可以為長(zhǎng)方體或圓柱形。所述融化裝置優(yōu)選采用316L不銹鋼制作。

所述融化裝置的夾套的體積與融化裝置的體積比優(yōu)選為1：(8～10)。

所述融化裝置的夾套內(nèi)優(yōu)選為導(dǎo)熱油。通過(guò)上述導(dǎo)熱油加熱三甲基銦從而使其融化。

在本發(fā)明中，所述融化裝置側(cè)壁設(shè)置有加熱裝置進(jìn)口和加熱裝置出口，所述加熱裝置進(jìn)口設(shè)置于下部，加熱裝置出口設(shè)置于上部。

所述添加導(dǎo)熱油的體積優(yōu)選為整個(gè)夾套體積的90％以上。

在本發(fā)明中，所述融化裝置優(yōu)選設(shè)置有可拆卸的頂蓋，生產(chǎn)前打開(kāi)，使用時(shí)封閉。

在本發(fā)明中，所述結(jié)晶裝置的入口與所述融化裝置的出口相連。優(yōu)選的，所述融化裝置設(shè)置于所述結(jié)晶裝置上。