[發(fā)明專利]噴嘴部件、蒸鍍裝置及制作有機(jī)發(fā)光二極管器件的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510849666.9
• 申請日: 2015-11-27
• 公開（公告）號: CN105483620A
• 公開（公告）日: 2016-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄒清華
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/12;C23C14/54;H01L51/56
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 李相雨

1.一種噴嘴部件，包括設(shè)置有噴嘴的本體，其特征在于，所述 本體還設(shè)置有與所述噴嘴間隔開的中空腔，所述中空腔中設(shè)置有加熱 件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴部件，其特征在于，所述本體設(shè) 置有沿一直線方向分布的多個噴嘴，在所述多個噴嘴的兩側(cè)分別設(shè)置 有一個所述中空腔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴嘴部件，其特征在于，所述加熱件 為平行所述直線方向延伸的加熱絲。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴嘴部件，其特征在于，每個所述中 空腔中設(shè)置有至少兩條平行的加熱絲。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4其中任一項所述的噴嘴部件，其特征在于， 所述本體由鈦合金或鋁合金制成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-4其中任一項所述的噴嘴部件，其特征在于， 所述本體為一體式結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-4其中任一項所述的噴嘴部件，其特征在于， 所述本體包括第一本體、第二本體和第三本體，所述第二本體和所述 第三本體分別與所述第一本體的兩相對側(cè)鄰接，所述第一本體在不同 于所述兩相對側(cè)的上側(cè)設(shè)置有噴嘴，并且在所述兩相對側(cè)分別設(shè)置有 第一凹槽，所述第二本體和第三本體上分別設(shè)置有與所述第一凹槽對 應(yīng)的第二凹槽，從而一個所述第一凹槽和一個所述第二凹槽組合成一 個所述中空腔。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-4其中任一項所述的噴嘴部件，其特征在于， 還包括溫控器件，用于當(dāng)檢測到所述噴嘴處的溫度低于設(shè)定閾值時， 控制所述加熱件的溫度上升。

9.一種蒸鍍裝置，包括權(quán)利要求1-8其中任一項所述的噴嘴部 件。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的蒸鍍裝置，其特征在于，還包括與所 述噴嘴連通的坩堝室和加熱所述坩堝室的加熱部件。

11.一種制作有機(jī)發(fā)光二極管器件的方法，其特征在于，使用權(quán) 利要求8或9所述的蒸鍍裝置蒸鍍有機(jī)材料，在蒸鍍時使所述加熱件 發(fā)熱。