[發明專利]一種低腐蝕性感光膜清洗液

在審

• 申請號: 201510848566.4
• 申請日: 2015-11-28
• 公開（公告）號: CN105388712A
• 公開（公告）日: 2016-03-09
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 蘇趙珍
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種低腐蝕性感光膜清洗液，其特征在于：包括季戊四醇、氫氧化鉀、有機胺、防腐蝕劑和溶劑。

2.如權利要求1所述的低腐蝕性感光膜清洗液，其特征在于：季戊四醇的質量百分比為1-10％，氫氧化鉀的質量百分比為1-5％，有機胺的質量百分比為0.5-25％，防腐蝕劑1-3％，溶劑為佘量，各組分質量百分比之和為100％。

3.如權利要求1或2所述的低腐蝕性感光膜清洗液，其特征在于：季戊四醇的質量百分比為5％，氫氧化鉀的質量百分比為5％，有機胺的質量百分比為20％，防腐蝕劑2％，溶劑為68％。

4.如權利要求1至3所述的低腐蝕性感光膜清洗液，其特征在于：所述機胺為選自包括1，5-二甲基己胺、異丙醇胺、間甲基苯胺、n-甲基乙醇胺、對氟苯胺、二乙基乙醇胺、2-氨乙基氨基乙醇、氨乙基哌嗪、氨丙基哌嗪、1-(2-羥乙基)哌嗪、1-氨基-4-甲基哌嗪、2-甲基哌嗪、1-甲基哌嗪、1-芐基哌嗪、2-苯基哌嗪、1-氨基哌啶和1-氨甲基哌啶的組的至少一種化合物。

5.如權利要求1至4所述的低腐蝕性感光膜清洗液，其特征在于：所述溶劑為亞砜、砜、咪唑烷酮、咪唑啉酮、醇、醚、酰胺中的一種或多種。

6.如權利要求1至5所述的低腐蝕性感光膜清洗液，其特征在于：所述的亞砜為二甲基亞砜；所述的砜為環丁砜；所述的咪唑烷酮為1，3-二甲基-2-咪唑烷酮；所述的咪唑啉酮為1，3-二甲基-2-咪唑啉酮；所述的酰胺為二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺；所述的醇為丙二醇、二乙二醇；醚為乙二醇醚或丙二醇醚。

7.如權利要求1至6所述的抗蝕膜剝離劑，其特征在于：所述防腐蝕劑由式2所示的O’，O’-二苯基二硫代磷酸-N，N-二乙胺和式1所示的ω，ω′-雙(苯并咪唑-2-基)烷烴構成，其中，n＝8，兩者的質量為1∶3。

8.如權利要求1至7所述的低腐蝕性感光膜清洗劑，其特征在于：所述O’，O’-二苯基二硫代磷酸-N，N-二乙胺的制備方法具體為：

將22.2g五硫化二磷(0.1mol)，37.6g苯酚(0.4mol)加入到250mL三口燒瓶中，加入70mL甲苯作溶劑；邊攪拌邊逐漸將溫度升高到100℃左右反應45min；再升溫直到回流，回流3h，反應過程中固體逐漸消失；溶液稍冷，加入少量活性炭煮沸脫色，趁熱過濾，濾液冷卻至室溫；將所得濾液轉移至燒杯中，水浴冷卻并在攪拌下逐滴滴加22mL二乙胺(0.2mol)，反應體系放出大量的熱，液體顏色逐漸變為橘紅色，用玻璃棒快速攪拌，有沉淀產生，室溫下靜止放置一夜；減壓過濾，用甲苯洗滌至白色，產品為白色針狀晶體；甲苯重結晶，減壓過濾，真空干燥，得白色晶體，即得。

9.如權利要求1至8所述的低腐蝕性感光膜清洗劑，其特征在于：所述ω，ω′-雙(苯并咪唑-2-基)烷烴的制備方法具體為：

分別稱取0.11mol鄰苯二胺和0.05mol脂肪二酸，于研缽中充分研磨使其混合均勻，轉移至三頸燒瓶中。加入混酸，通氮，機械攪拌下加熱回流反應。TLC跟蹤監測至反應結束，約10h，倒入250mL燒杯中，靜置冷卻，用濃氨水調節pH＝7。于4℃下靜置過夜，抽濾干燥，所得粗品用甲醇/水重結晶，得純品。