[發明專利]寬溫域自適應潤滑涂層及其制備方法與應用

有效

• 申請號: 201510848312.2
• 申請日: 2015-11-27
• 公開（公告）號: CN106811725B
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發明（設計）人: 王永欣;劉二勇;慕永濤;王立平
• 申請（專利權）人: 中國科學院寧波材料技術與工程研究所
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/06;C23C14/18;C23C28/00
• 代理公司: 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32256
• 代理人: 王鋒

1.一種寬溫域自適應潤滑涂層的制備方法，其特征在于包括：

對基體表面進行活化處理；

采用多弧離子鍍技術在經過活化處理后基體表面交替沉積VN硬質相層和VN/Ag潤滑相復合層，所獲寬溫域自適應潤滑涂層主要由VN硬質相層和VN/Ag潤滑相復合層交替疊加形成。

2.根據權利要求1所述的寬溫域自適應潤滑涂層的制備方法，其特征在于：所述基體為鎳基高溫合金。

3.根據權利要求2所述的寬溫域自適應潤滑涂層的制備方法，其特征在于所述活化處理方法包括：將所述基體置于真空腔體，升溫至300℃～500℃，隨后通過施加負偏壓引導氬等離子體對基體表面進行轟擊活化，其中氬氣氣體流量為50sccm～300sccm，偏壓為-500V～-1000V，處理時間為10min～30min。

4.根據權利要求1所述的寬溫域自適應潤滑涂層的制備方法，其特征在于：將活化后的基體置于鍍膜設備中，選用V靶、Ag靶為陰極，其中V靶電流為50A～100A、Ag靶電流為50A～100A，控制工件偏壓為-50V～-500V，基體溫度為300℃～500℃；在沉積過程中通入氬氣和氮氣，通過控制氬氣流量、氮氣流量以及沉積時間在基體表面交替沉積所述VN硬質相層和VN/Ag潤滑相復合層結構涂層，其中：

所述VN硬質相層滿足條件：氬氣流量保持為100sccm～200sccm，氮氣流量為200sccm～500sccm，沉積0.5h～3h；

所述VN/Ag潤滑相復合層滿足條件：氬氣流量保持為100sccm～200sccm，氮氣流量為100sccm～300sccm，沉積時間為0.2h～2h。

5.根據權利要求4所述的寬溫域自適應潤滑涂層的制備方法，其特征在于還包括：在所述涂層沉積完畢后，在真空環境下冷卻至220℃以下，然后在氮氣保護氣氛下冷卻至100℃以下，即在基體表面獲得所述潤滑涂層。

6.根據權利要求4所述的寬溫域自適應潤滑涂層的制備方法，其特征在于：所述氮氣的純度為99.95％以上，和/或，所述氬氣的純度為99.95％以上。