[發明專利]一種波長修正式多光束角階梯反射鏡激光干涉儀及其測量方法

在審

• 申請號: 201510848301.4
• 申請日: 2015-11-27
• 公開（公告）號: CN105509636A
• 公開（公告）日: 2016-04-20
• 發明（設計）人: 許誠昕;徐承成;李運洪;劉俊;張白
• 申請（專利權）人: 成都信息工程大學
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02;G01B11/02
• 代理公司: 四川力久律師事務所 51221
• 代理人: 韓洋

1.一種波長修正式多光束角階梯反射鏡激光干涉儀，包括激光源(1)、分光鏡(2)、固定階梯平面角反射鏡(3)、測量角反射鏡裝置(4)、光電探測器組(5)，其特征在于：

所述測量角反射鏡裝置(4)包括測量角反射鏡(7)與精密位移裝置(6)，所述測量角反射鏡(7)設置在所述精密位移裝置(6)上，所述精密位移裝置(6)設置在被測物體上，所述精密位移裝置(6)為所述測量角反射鏡(7)提供與被測物體位移同向或反向的位移；

所述激光源(1)包括n個平行激光束，其中n≥2，所述光電探測器組(5)包括n個光電探測器件；

所述固定階梯平面角反射鏡(3)包括成直角的兩個反射階梯面，每個所述反射階梯面包括n個成階梯形的反射平面，相鄰兩個反射平面的間距等于其中k為自然數、λ為激光源(1)發出的激光波長，所述測量角反射鏡(7)包括成直角的兩個反射平面；

所述激光源(1)發出的每束激光經過所述分光鏡(2)反射后，分別射入對應一個反射平面，每個所述反射平面將每束激光反射到對應的所述光電探測器組(5)的各個光電探測器件；所述激光源(1)發出的每束激光經過所述分光鏡(2)透射后，分別入射到所述測量角反射鏡(7)后反射到對應的光電探測器組(5)的各個光電探測器件。

2.根據權利要求1所述的一種波長修正式多光束角階梯反射鏡激光干涉儀，其特征在于，所述精密位移裝置包括支撐平臺和設置在所述支撐平臺上的驅動裝置，所述支撐平臺與所述被測物體相配合，所述驅動裝置為所述測量角反射鏡提供在被測物體位移方向上的位移。

3.根據權利要求2所示的一種波長修正式多光束角階梯反射鏡激光干涉儀，其特征在于，所述驅動裝置為壓電陶瓷型驅動裝置。

4.根據權利要求2或3所述的一種波長修正式多光束角階梯反射鏡激光干涉儀，其特征在于，還包括設置在所述支撐平臺上的第一位移件和設置在所述第一位移件上的第二位移件，所述驅動裝置與所述第一位移件相配合，為所述第一位移件提供沿所述支撐平臺的位移，所述第一位移件具有一相對于其位移方向傾斜的斜面，所述第二位移件滑動設置在所述第一位移件的斜面上，使所述第二位移件可沿所述第一位移件的斜面滑動，所述第一位移件與第二位移件之間貼緊配合，所述測量角反射鏡設置在所述第二位移件上，所述支撐平臺上還設置有約束裝置，所述約束裝置限制所述第二位移件沿所述第一位移件位移方向上的運動，使得當第一位移件被所述驅動裝置帶動而產生位移時，所述第二位移件被所述第一位移件帶動而產生位移，并且，所述第二位移件的位移方向與所述第一位移件的位移方向相垂直，所述第一位移件的斜面與其位移方向的夾角為A度，0<A<45。

5.如權利要求4所述的波長修正式多光束角階梯反射鏡激光干涉儀，其特征在于，所述第一位移件與所述支撐平臺之間還設置有具有磁性的磁性件，所述第二位移件具有磁性，所述第二位移件與所述磁性件為異性相吸狀態。

6.如權利要求4所述的波長修正式多光束角階梯反射鏡激光干涉儀，其特征在于，所述第二位移件與所述測量角反射鏡為一體式結構。