[發明專利]具有自退火應變改進的銅層結構的形成有效
| 申請號： | 201510845121.0 | 申請日： | 2015-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN106257664B | 公開（公告）日： | 2019-01-25 |
| 發明（設計）人： | 粘耀仁;張簡旭珂;洪奇成;王喻生;陳泓旭 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/532 | 分類號： | H01L23/532;H01L21/60 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知識產權代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李偉 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 退火 應變 改進 結構 形成 | ||
【權利要求書】：
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