[發明專利]傾斜檢測裝置以及旋轉激光裝置

在審

• 申請號: 201510840228.6
• 申請日: 2015-11-27
• 公開（公告）號: CN105651252A
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 古平純一
• 申請（專利權）人: 株式會社拓普康
• 主分類號: G01C9/00
• 分類號: G01C9/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 秦琳;陳嵐

1.一種傾斜檢測裝置，其中，固定部和傾斜轉動基板經由樞軸部以能相對旋轉的方式 設置，所述固定部和所述傾斜轉動基板的任一個與所述樞軸部整體地構成，所述傾斜檢測 裝置具備：傾斜檢測部，設置在所述固定部和所述傾斜轉動基板之中的相對于所述樞軸部 進行相對旋轉的側；以及角度檢測圖案，形成于所述樞軸部，所述傾斜檢測部具備：光源，向 所述樞軸部照射照明光；光接收元件，對由所述樞軸部反射的照明光進行光接收；光學系 統，將圖案像投影到該光接收元件；以及運算部，基于所述樞軸部進行旋轉的情況下的投影 到所述光接收元件的所述圖案像的投影位置來檢測所述樞軸部的旋轉。

2.根據權利要求1所述的傾斜檢測裝置，其中，所述光學系統具備配設在光軸上的偏光 板、偏振光束分光器、以及1/4波長板，經由所述偏光板、所述偏振光束分光器和所述1/4波 長板向所述樞軸部照射照明光，使所述光接收元件經由所述1/4波長板和所述偏振光束分 光器對由該樞軸部反射的所述圖案像進行光接收。

3.根據權利要求2所述的傾斜檢測裝置，其中，所述偏光板為形成在所述偏振光束分光 器的入射面的偏光膜，所述1/4波長板為形成在所述偏振光束分光器的射出面的1/4波長 膜。

4.一種旋轉激光裝置，具備：以能傾斜轉動的方式設置并且使激光光線在水平方向上 偏向而旋轉照射的激光照明器、使該激光照明器傾斜的傾斜部、以及設定所述激光照明器 的目標傾斜角的傾斜設定部，其中，所述傾斜設定部具備：底板，與所述激光照明器的軸心 正交；傾斜轉動基板，相對于該底板經由樞軸部以能傾斜轉動的方式設置；傾斜檢測器，設 置于該傾斜轉動基板并且對該傾斜轉動基板的水平進行檢測；角度檢測圖案，形成于所述 樞軸部；以及根據權利要求1所述的所述傾斜檢測部，設置于所述傾斜轉動基板。