[發明專利]長度測量裝置

有效

• 申請號: 201510831775.8
• 申請日: 2015-11-25
• 公開（公告）號: CN105627875B
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: K.鮑爾;W.普赫爾;T.西格爾
• 申請（專利權）人: 約翰內斯·海德漢博士有限公司
• 主分類號: G01B5/02
• 分類號: G01B5/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 楊國治;宣力偉

本發明涉及一種具有標尺（1）和裝配元件（2）的長度測量裝置，利用所述裝配元件能夠將所述標尺（1）沿縱向方向（X）剛性地緊固在基座（5）處。所述裝配元件（2）具有第一緊固區段（21）和第二緊固區段（22），利用所述第一緊固區段將所述裝配元件位置固定地布置在所述標尺（1）處，構造所述第二緊固區段用于與所述基座（5）位置固定地緊固。在所述第一緊固區段（21）和所述第二緊固區段（22）之間設置允許所述第一緊固區段（21）相對于所述第二緊固區段（22）垂直于縱向方向（X）的運動的機構。所述機構是固體鉸鏈形式的沿縱向方向（X）定向的撐桿（23、24）。

技術領域

本發明涉及一種長度測量裝置。

背景技術

這樣的長度測量裝置尤其在加工機床中用于測量工具關于待加工的工件的相對位置、在坐標測量機中用于測定被測對象的位置和尺寸以及也在半導體工業中得到使用。在此，將標尺（Ma?stab）直接加裝在基座處、例如在驅動單元（例如線性馬達）處或者將標尺加裝在通過所述驅動單元驅動的部件處。將長度測量裝置的掃描單元相對于運動的標尺靜止地布置在第二對象處，該第二對象相對于所述基座的相對位置應該得到測量。

為了形成所述標尺相對于所述基座的固定點,已知的是，將所述標尺在基座處的一個部位處沿測量方向位置固定地固定。

在大多數情況下，所述標尺和所述基座由具有不同的熱膨脹性能的材料制成。該位置固定的固定如下構造，使得在溫度變化時沒有約束力由基座施加到所述標尺上。

根據EP 0 264 801 A1，所述標尺的位置固定的固定借助于一方面裝入在所述標尺的V槽中并且另一方面裝入在夾具（Fassung）的V槽中并且由此形成形狀配合的球體實現。所述標尺借助于彈簧擠壓到所述球體處，從而一方面確保所述球體和所述標尺之間的形狀配合以及另一方面確保所述球體和所述夾具之間的形狀配合。

根據WO 02/27265 A2，沿測量方向的位置固定的固定借助于具有第一緊固區段和第二緊固區段的裝配元件實現，所述裝配元件利用第一緊固區段位置固定地在所述標尺處緊固，所述裝配元件利用第二緊固區段在基座處緊固。在所述第一緊固區段和所述第二緊固區段之間設置滾子軸承，該滾子軸承允許所述標尺相對于所述基座垂直于測量方向的移動。

發明內容

本發明的任務在于，說明一種長度測量裝置，所述長度測量裝置緊湊地構造并且利用該長度測量裝置實現精確的位置測量。

根據本發明，該任務通過一種長度測量裝置得到解決。所述長度測量裝置具有：標尺，所述標尺沿縱向方向延伸并且所述標尺具有用于沿縱向方向位置測量的測量刻度；至少一個裝配元件，利用所述裝配元件能夠將所述標尺沿縱向方向剛性地緊固在基座處，其中，所述裝配元件具有第一緊固區段和第二緊固區段，利用所述第一緊固區段將所述裝配元件位置固定地布置在所述標尺處，構造所述第二緊固區段用于與所述基座位置固定地緊固，其中，在所述第一緊固區段和所述第二緊固區段之間設置允許所述第一緊固區段相對于所述第二緊固區段垂直于縱向方向的運動的機構，其特征在于，所述機構是多個能夠彎曲的撐桿的布置，所述布置通過彎曲允許所述第一緊固區段相對于所述第二緊固區段垂直于縱向方向的運動，其中，構造所述撐桿的布置用于如下補償所述撐桿的通過所述彎曲引起的長度變化，使得由此沒有產生在所述第一緊固區段和所述第二緊固區段之間沿縱向方向的運動。