[發明專利]一種大幅面高速高精度自動光學檢測設備

在審

• 申請號: 201510828145.5
• 申請日: 2015-11-25
• 公開（公告）號: CN105486341A
• 公開（公告）日: 2016-04-13
• 發明（設計）人: 張星祥;王文華;張帆;孫斌;谷倉
• 申請（專利權）人: 長春乙天科技有限公司
• 主分類號: G01D21/00
• 分類號: G01D21/00
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 于曉慶

1.一種大幅面高速高精度自動光學檢測設備，其特征在于，包括：

支撐平臺(2)；

固定在支撐平臺(2)底部的減震支架(1)；

設置在支撐平臺(2)上表面且相互平行的兩個平移導軌副(3)；

放置在平移導軌副(3)上的工件臺(5)；

固定在支撐平臺(2)上表面且位于工件臺(5)正下方的透射照明光源(4)；

固定在支撐平臺(2)后端且與工件臺(5)相連的精密驅動裝置(6)，所 述精密驅動裝置(6)通過電機驅動工件臺(5)，使工件臺(5)隨著平移導軌 副(3)的滑動在支撐平臺(2)上單方向往復運動和定位；

控制系統，用于顯示設備當前狀態，用于驅動精密驅動裝置(6)運行，用 于控制拼接探測器焦面組件(14)的探測器幀頻，用于人機交互設置、顯示設 備程序運行狀態及檢測結果輸出，用于實現成像圖像的拼接和處理，用于將拼 接圖像與標準文件進行對比、實現工件誤差檢測；

與控制系統相連的光柵尺(7)，所述光柵尺(7)的讀數頭和光柵分別安裝 在工件臺(5)和支撐平臺(2)上，用于測量工件臺(5)移動的速度和位置并 將速度和位置信號反饋給控制系統，通過控制系統控制精密驅動裝置(6)運行 使工件臺(5)運動，所述工件臺(5)移動的速度與拼接探測器焦面組件(14) 的探測器幀頻匹配；

固定在支撐平臺(2)上表面邊緣且位于兩個平移導軌副(3)外側的鏡頭 支架(9)；

固定在鏡頭支架(9)內側的反射照明光源(10)；

固定在鏡頭支架(9)上表面的反射鏡(11)和精密調焦平臺(12)；

固定在精密調焦平臺(12)上表面且水平設置的大視場高精度鏡頭(13) 和拼接探測器焦面組件(14)，所述大視場高精度鏡頭(13)前后端分別對準反 射鏡(11)和拼接探測器焦面組件(14)，所述反射鏡(11)與大視場高精度鏡 頭(13)的光軸(29)成45°夾角，所述反射鏡(11)用于轉折成像檢測光路， 通過調整精密調焦平臺(12)使工件臺(5)上的工件與拼接探測器焦面組件(14) 的探測器感光面完全共軛，且拼接探測器焦面組件(14)與工件臺(5)通過大 視場高精度鏡頭(13)完全共軛。

2.根據權利要求1所述的一種大幅面高速高精度自動光學檢測設備，其特 征在于，所述控制系統包括：

計算機(17)，用于連接并控制所有電聯組件，是整個設備中樞；

與計算機(17)電連接的設備狀態燈(15)，用于顯示設備當前狀態；

與計算機(17)電連接的顯示器(18)，用于人機交互設置、顯示設備程序 運行狀態及檢測結果輸出；

分別與計算機(17)、精密驅動裝置(6)、光柵尺(7)和拼接探測器焦面 組件(14)電連接的控制器(16)，用于驅動精密驅動裝置(6)運行，用于控 制拼接探測器焦面組件(14)的探測器幀頻；

安裝在計算機(17)中的圖像采集卡和控制軟件，用于實現成像圖像的拼 接和處理，用于將拼接圖像與標準文件進行對比、實現工件誤差檢測。

3.根據權利要求1所述的一種大幅面高速高精度自動光學檢測設備，其特 征在于，還包括安裝在支撐平臺(2)和工件臺(5)之間的工件指示器(8)， 所述工件指示器(8)位于透射照明光源(4)前端；當工件臺(5)上有工件并 移動工件指示器(8)時，所述工件指示器(8)給出一個控制信號，開始成像 檢測。