[發(fā)明專利]芯片測試機(jī)、芯片測試機(jī)的監(jiān)控裝置及監(jiān)控方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510826963.1
• 申請日: 2015-11-24
• 公開（公告）號: CN105300333A
• 公開（公告）日: 2016-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 潘子升;宋斌俊;魏建中
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州士蘭微電子股份有限公司
• 主分類號: G01B21/00
• 分類號: G01B21/00;G01R31/01
• 代理公司: 北京成創(chuàng)同維知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11449
• 代理人: 劉鋒;柳興坤

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及芯片測試技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種芯片測試機(jī)、芯片測試機(jī)的監(jiān)控裝置及監(jiān)控方法。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體集成電路的制造過程，大致上可分為產(chǎn)品設(shè)計、晶圓制造、晶圓測試、切割、封裝及成品測試。成品測試是通過芯片測試機(jī)完成的。

現(xiàn)有技術(shù)的芯片測試機(jī)包括測試機(jī)臺、進(jìn)料機(jī)構(gòu)、出料機(jī)構(gòu)以及機(jī)械臂。在芯片測試時，會將載滿芯片的測試盤送至進(jìn)料機(jī)構(gòu)，機(jī)械臂將芯片送入測試機(jī)臺的芯片座進(jìn)行測試，測試完成后再通過機(jī)械臂將芯片通過出料機(jī)構(gòu)送回測試盤。

芯片進(jìn)入量產(chǎn)階段，就需要對成品芯片進(jìn)行大批量測試，以檢驗其種類繁多的功能及參數(shù)。測試機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)效率，單顆芯片測試時間長短，將直接影響產(chǎn)能輸出，高的測試效率，同時也保證了如期交貨給客戶。為了提高產(chǎn)能，提高芯片測試機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)效率，芯片測試機(jī)需要長時間不間斷運(yùn)轉(zhuǎn)，而測試機(jī)用于傳送待測芯片的機(jī)械臂的傳送定位精確度的大小，能否準(zhǔn)確將待測芯片傳送到指定的位置坐標(biāo)的測試機(jī)臺芯片座，直接影響到測試機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)正常與否以及被測芯片測試準(zhǔn)確率。此外，芯片測試機(jī)長時間不停的運(yùn)轉(zhuǎn)，不可避免的會造成測試機(jī)機(jī)械臂位置坐標(biāo)出現(xiàn)偏差。

現(xiàn)有技術(shù)通過定期的人工檢測和精度修正來保持芯片測試機(jī)的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，人工檢測的弊端是檢測不及時，只能定期維護(hù)檢修檢測無法做到定時監(jiān)測監(jiān)控，一旦由于檢修不及時，就會造成芯片檢測不良率增加，同時意味著一旦停機(jī)檢修，影響效率、效益。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提出一種芯片測試機(jī)、芯片測試機(jī)的監(jiān)控裝置及監(jiān)控方法，能夠?qū)崟r監(jiān)控機(jī)械臂的運(yùn)轉(zhuǎn)異常并報警，提高芯片測試機(jī)的效率。

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供一種芯片測試機(jī)的監(jiān)控裝置，包括：位移檢測模塊，用于獲得所述芯片測試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)；主處理器模塊，接收所述芯片測試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)，并且在所述芯片測試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)不在預(yù)定范圍內(nèi)時，生成報警信息；以及無線傳輸模塊，將所述報警信息發(fā)送到上位機(jī)。

優(yōu)選地，所述監(jiān)控裝置還包括電源模塊，用于為所述監(jiān)控裝置供電。

優(yōu)選地，所述電源模塊為可充電電池。

優(yōu)選地，所述位移檢測模塊包括三軸加速度計。

優(yōu)選地，所述主處理器模塊包括接口電路，所述主處理器模塊通過所述接口電路接收所述芯片測試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)。

優(yōu)選地，所述接口電路為I2C接口。

優(yōu)選地，所述無線傳輸模塊包括WiFi單元。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種芯片測試機(jī)的機(jī)械臂的監(jiān)控方法，包括：獲得所述機(jī)械臂的位置坐標(biāo)；判斷所述機(jī)械臂的位置坐標(biāo)是否在預(yù)定范圍內(nèi)，并在所述機(jī)械臂的位置坐標(biāo)不在預(yù)定范圍內(nèi)時，生成報警信息；將所述報警信息發(fā)送到上位機(jī)。

優(yōu)選地，所述機(jī)械臂的位置坐標(biāo)通過三軸加速度計獲得。

優(yōu)選地，所述報警信息通過WiFi單元傳輸?shù)缴衔粰C(jī)。

根據(jù)本發(fā)明的又一個方面，提供一種芯片測試機(jī)，所述芯片測試機(jī)包括如上所述的監(jiān)控裝置。

本發(fā)明的芯片測試機(jī)的監(jiān)控裝置通過位移監(jiān)測單元獲得機(jī)械臂的位置坐標(biāo)，通過主處理器單元判斷機(jī)械臂的位置坐標(biāo)是否在預(yù)定范圍內(nèi)，當(dāng)所述芯片測試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)不在預(yù)定范圍內(nèi)時，生成報警信息，及時通知工作人員進(jìn)行停機(jī)維護(hù)，避免造成更大的經(jīng)濟(jì)損失，提高了效率，延長了測試機(jī)的壽命。

附圖說明

通過以下參照附圖對本發(fā)明實施例的描述，本發(fā)明的上述以及其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將更為清楚，在附圖中：

圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的芯片測試機(jī)的監(jiān)控裝置的結(jié)構(gòu)框圖；

圖2是主處理器模塊的示意性結(jié)構(gòu)框圖；以及

圖3是根據(jù)本發(fā)明實施例的芯片測試機(jī)的監(jiān)控方法的流程圖。

具體實施方式

以下基于實施例對本發(fā)明進(jìn)行描述，但是本發(fā)明并不僅僅限于這些實施例。在下文對本發(fā)明的細(xì)節(jié)描述中，詳盡描述了一些特定的細(xì)節(jié)部分。對本領(lǐng)域技術(shù)人員來說沒有這些細(xì)節(jié)部分的描述也可以完全理解本發(fā)明。為了避免混淆本發(fā)明的實質(zhì)，公知的方法、過程、流程、元件和電路并沒有詳細(xì)敘述。

此外，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，在此提供的附圖都是為了說明的目的，并且附圖不一定是按比例繪制的。