[發明專利]一種機床雙單向切割多晶硅棒的方法

在審

• 申請號: 201510823010.X
• 申請日: 2015-11-24
• 公開（公告）號: CN105252661A
• 公開（公告）日: 2016-01-20
• 發明（設計）人: 王會敏;何京輝;李立偉;張立濤;菅書勇;李會剛
• 申請（專利權）人: 邢臺晶龍電子材料有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 李榮文

技術領域

本發明涉及硅棒切割技術領域，特別是涉及一種機床雙單向切割多晶硅棒的方法。

背景技術

日本NTC-442DM切片機的切割方式一般分為3種，即雙向切割、單向切割和反比例切割，其中反比例切割主要應用于二極管單晶圓棒切割，目前很少使用，常用的是前兩種方式，雙向切割即鋼線運行方式為按照工藝設定的周期往復運行完成切割，新線使用為逐漸遞進，此方式普遍應用于單晶切割。單向切割即鋼線朝同一方向，在一定的線速下運行完成切割，一搬為每卷鋼線切割一刀硅棒，主要應用于多晶切割和有特定要求的單晶切割。

由于目前行業內多晶生產的現狀，成品的多晶硅棒一般長度較短，切割硅片時要求使用單向切割工藝，每卷鋼線只能切割一刀多晶硅棒，即新線切割一刀硅棒后就要更換，在此工藝下，加工多晶硅片時的鋼線成本要高出單晶硅片近一倍，成本較高，工作效率也不高。

發明內容

本發明要解決的技術問題是針對上述現有技術的不足，提供一種雙單向切割多晶硅棒的方法，方法簡單，容易操作，節約材料，節省成本，提高了工作效率，使現代工藝得到優化。

為解決上述技術問題，本發明所采取的技術方案是：包括如下步驟：

（1）更換新鋼線，安裝硅棒；

（2）設定切割參數，并設定鋼線運行周期為0，設定第一刀切割鋼線運行方向；

（3）更換砂漿；

（4）切割第一刀；

（5）第一刀切割完畢，清理；

（6）進行第二刀切割：常規操作與第一刀一致，需調整的有三方面：將工作臺進給速度降低，將進線張力調低，使鋼線運行方向與第一刀切割鋼線運行方向相反；更換砂漿，切割第二刀；以后往復進行。

作為優選，設定切割參數，依次為工作臺速度、鋼線速度、新線進給量、砂漿溫度設定、張力設定，砂漿流量。

作為優選，第一刀切割鋼線運行方向為由左至右，則第二刀切割鋼線運行方向為由右至左。

作為優選，張力設定，第一刀切割進線張力為18N，出線張力為10N；第二刀切割進線張力17N，出線張力10N。

作為優選，第二刀切割時工作臺進給速度降低，降低速度后用時較第一刀切割用時延長20分鐘。

作為優選，機床為NTC442DM機床，第二刀的反向切割操作是由操作工手動操作完成的。

采用上述技術方案所產生的有益效果在于：本發明方法簡單，操作方便，使用一卷鋼線，單向連續切割兩刀硅棒，第一刀和第二刀的交替進行，使得切割時材料能得到充分利用，節約材料，節省成本，滿足并優化了現代工藝，提高了工作效率。

具體實施方式

下面結合具體實施方式對本發明作進一步詳細的說明。

以下為本發明一種機床雙單向切割多晶硅棒的方法的一個實施例，包括如下步驟：

（1）更換新鋼線，安裝上硅棒，降下工作臺到硅棒接觸線網時，將工作臺位置清零；

按需求及時更換鋼線，可以保證切割工藝的質量；安裝上準備好的兩根硅棒，工作臺下降至硅棒接觸線網的位置時，按下工作臺復位按鈕，將工作臺位置清零，保證工作臺不受上一個切割工藝的影響，保證完整準確的完成切割任務；

（2）設定切割參數，并設定鋼線運行周期為0，設定第一刀切割鋼線運行方向，打開鋼線運行頁面，有一鋼線運行方向設定按鈕，選擇需要運行的方向，即完成了鋼線運行方向設定；

NTC442DM機床的運行是靠人為設定的，人為設定可以按照需求進行切割，能達到理想切割方式，滿足人們的需求；由于是單向切割，因此，鋼線運行周期設定為0，鋼線只有新線進給量，沒有鋼線返回量；

（3）更換砂漿，砂漿對切割工作中有降溫的作用，及時更換砂漿可以保證降溫效果，同時也保證了切割質量；

（4）切割第一刀；

（5）第一刀切割完畢取下后，完成清理工作，保證接下來工作順利、高效、高質量的進行；

（6）第二刀切割的常規操作與第一刀一致，需調整的有三方面，一是在參數設定頁面，將工作臺速度降低；二是在參數設定頁面內，改變張力設定，將進線張力調低；三是在鋼線運行頁面，鋼線運行方向與第一刀切割鋼線運行方向相反；更換砂漿，切割第二刀；以后往復進行。