[發明專利]適于8英寸硅外延工藝系統的三氯氫硅供應裝置

有效

• 申請號: 201510822734.2
• 申請日: 2015-11-24
• 公開（公告）號: CN105439067B
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 邱孟遜;甘伯年;金龍
• 申請（專利權）人: 南京國盛電子有限公司
• 主分類號: B67D7/02
• 分類號: B67D7/02;B67D7/78
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種適于8英寸硅外延工藝系統的三氯氫硅供應裝置，其特征在于：包括為外延工藝供應物料的左三氯氫硅液罐(1)和右三氯氫硅液罐(2)；

所述左三氯氫硅液罐(1)通過其上的第一閥門(V1)串聯第二閥門(V2)與一條工藝氣體輸入管路—第一管路(①)相連接，該第一管路(①)通過第一三通(3)接插入右三氯氫硅液罐(2)內的第二管路(②)，該第二管路(②)串聯第三閥門(V3)與右三氯氫硅液罐(2)上的第四閥門(V4)相連接；

同時，所述左三氯氫硅液罐(1)通過其上的第五閥門(V5)與一條液態三氯氫硅輸出管路—第三管路(③)相連接，該第三管路(③)串聯有第六閥門(V6)，并通過第二三通(4)與第七閥門(V7)相連接，該第七閥門(V7)的另一端連接在第一管路(①)的第一閥門(V1)和第二閥門(V2)之間；

所述第三管路(③)通過第二三通(5)接插入右三氯氫硅液罐(2)內的第四管路(④)，該第四管路(④)串聯第八閥門(V8)，并通過第三三通(6)連接第九閥門(V9)和右三氯氫硅液罐(2)上的第十閥門(V10)，所述第九閥門(V9)的另一端連接在第二管路(②)的第三閥門(V3)和第四閥門(V4)之間；所述左三氯氫硅液罐(1)和右三氯氫硅液罐(2)的重量分別為995～1005kg；所述三氯氫硅供應裝置具有一側供液、一側吹掃的工作模式、一側供液，一側待用的工作模式和一側供液，一側下線的工作模式。

2.根據權利要求1所述的適于8英寸硅外延工藝系統的三氯氫硅供應裝置，其特征在于：所述第一閥門(V1)、第四閥門(V4)、第五閥門(V5)和第十閥門(V10)均為手動閥門。

3.根據權利要求1所述的適于8英寸硅外延工藝系統的三氯氫硅供應裝置，其特征在于：所述第二閥門(V2)、第三閥門(V3)、第六閥門(V6)、第七閥門(V7)、第八閥門(V8)和第九閥門(V9)均為編程控制器控制的氣動控制閥門。