[發(fā)明專利]一種懸臂式探針系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510821440.8
• 申請(qǐng)日: 2015-11-23
• 公開（公告）號(hào): CN105277755A
• 公開（公告）日: 2016-01-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岳小兵;張志勇;祁建華;施瑾;王錦
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華嶺集成電路技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/073
• 分類號(hào): G01R1/073;G01R31/26
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 智云

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備維護(hù)領(lǐng)域，涉及一種懸臂式探針系統(tǒng)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中懸臂式探針系統(tǒng)的探針從探針針尖到探針尾部焊點(diǎn)是由一根探針彎針而成，并將探針針臂部分固定在環(huán)氧樹脂環(huán)上，探針尾部直接與探針卡板連接在一起。但在集成電路在晶圓測(cè)試時(shí)，懸臂式探針系統(tǒng)由于針尖碰到諸如管腳鋁屑、沾污等導(dǎo)電異物，或者在測(cè)試缺陷芯片時(shí)都可能使電源、地或者其他管腳探針導(dǎo)通超過探針本身能夠?qū)娏鞯碾娏鳎瑥亩斐商结樶樇馊蹟唷?/p>

針對(duì)上述懸臂式探針系統(tǒng)探針針尖熔斷的問題，現(xiàn)有技術(shù)中主要采用兩種方法進(jìn)行解決，一種方案是在發(fā)生探針針尖熔斷后直接更換探針，將樹脂環(huán)用刀具剖開，將熔斷探針從中抽出，更換新探針。但此方案存兩個(gè)問題：在探針較密特別是多層探針時(shí)，剖開樹脂環(huán)的同時(shí)會(huì)損害相鄰探針；此方案需要剖開樹脂環(huán)然后重新添加新樹脂固定，這樣會(huì)使探針針壓不穩(wěn)定，從而使探針卡整體測(cè)試性能下降，導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果不穩(wěn)定。

現(xiàn)有技術(shù)中采用的另一個(gè)方案是通過測(cè)試程序限制總電源電流的方式來避免探針針尖熔斷。但此方案同樣存在兩個(gè)問題：測(cè)試程序控制電源電流存在微秒級(jí)時(shí)間差，經(jīng)常發(fā)生雖然電源總電流正常，但個(gè)別探針針尖仍然熔斷的現(xiàn)象；當(dāng)芯片工作電流較大時(shí)，通常在電源、地及管腳上分配多根探針，測(cè)試程序限制總電源電流的方式無法起到作用，因?yàn)殡m然電源整體電流在限定電流范圍內(nèi)，但由于電流在各個(gè)探針上不是平均分配，所以總是出現(xiàn)個(gè)別探針針尖電流過大而探針針尖熔斷的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種懸臂式探針系統(tǒng)，克服現(xiàn)有技術(shù)中懸臂式探針系統(tǒng)探針針尖熔斷的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下：

本發(fā)明提供了一種懸臂式探針系統(tǒng)，包括探針、探針卡板以及防止所述探針的針尖熔斷的保護(hù)裝置，所述探針遠(yuǎn)離針尖的一端與所述保護(hù)裝置一端焊接，所述保護(hù)裝置另一端焊接于所述探針卡板上。

進(jìn)一步的，所述保護(hù)裝置為熔斷器，所述熔斷器的熔斷電流小于所述探針的針尖的理論導(dǎo)通電流的最大值。

優(yōu)選的，所述熔斷器為電流保險(xiǎn)絲。

優(yōu)選的，所述熔斷器為自復(fù)熔斷器。

進(jìn)一步的，所述熔斷器的熔斷電流為所述探針針尖的理論導(dǎo)通電流的最大值的80％。

進(jìn)一步的，所述探針彎折分為兩部分，分別為探針針尖和探針針臂。

進(jìn)一步的，所述探針針臂與所述探針針尖之間的彎折角度為鈍角。

進(jìn)一步的，所述探針卡板上具有環(huán)孔，所述懸臂式探針系統(tǒng)還包括絕緣環(huán)，所述絕緣環(huán)固定在所述環(huán)孔上，所述探針針臂通過固定膠固定在所述絕緣環(huán)上。

進(jìn)一步的，所述絕緣環(huán)為陶瓷環(huán)。

進(jìn)一步的，所述固定膠為環(huán)氧樹脂。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)勢(shì)在于：

本發(fā)明通過設(shè)置在探針卡的探針與基板的焊接部位增加保護(hù)裝置(例如熔斷器)，可以在針尖導(dǎo)通電流接近限定電流時(shí)斷開電路，保護(hù)了探針針尖，有效的解決了探針針尖熔斷的問題，將探針針尖熔斷改進(jìn)為熔斷器熔斷，從而使探針針尖熔斷更換探針超過24小時(shí)以上甚至無法更換探針，改進(jìn)到只需更熔斷器，幾分鐘內(nèi)即可處理完畢，這樣既降低了成本也節(jié)約了時(shí)間。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的懸臂式探針系統(tǒng)的示意圖。

其中，1-探針；2-探針卡板；3-保護(hù)裝置；4-絕緣環(huán)；11-探針針尖；12-探針針臂；21-環(huán)孔。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提出的一種懸臂式探針系統(tǒng)作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。

一種懸臂式探針系統(tǒng)，包括探針1、探針卡板2以及防止所述探針的針尖熔斷的保護(hù)裝置3，所述探針1遠(yuǎn)離針尖的一端與所述保護(hù)裝置3一端焊接，所述保護(hù)裝置3另一端焊接于所述探針卡板2上。探針卡板2一般為電路板，本發(fā)明的探針卡通過在探針1尾部焊接一個(gè)保護(hù)裝置3，當(dāng)探針1的針尖導(dǎo)通的電流超過限定電流時(shí)，保護(hù)裝置3會(huì)使電路斷路，保護(hù)探針1的針尖不被熔斷。

進(jìn)一步的，所述保護(hù)裝置3為熔斷器，所述熔斷器的熔斷電流小于所述探針的針尖的理論導(dǎo)通電流的最大值。當(dāng)探針1的針尖導(dǎo)通的電流接近限定電流而超過熔斷器的熔斷電流時(shí)，這時(shí)探針1的針尖尚未熔斷，而達(dá)到熔斷電流的熔斷器會(huì)熔斷，使電路斷路，保護(hù)探針1的針尖不被熔斷，探針1只需通過更換熔斷器或其他方式使電路恢復(fù)即可使探針卡重新正常工作，而不需更換探針。