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[發明專利]避免電路短路的改良多晶硅虛置技術有效

專利信息
申請號: 201510814966.3 申請日: 2015-11-23
公開(公告)號: CN106257674B 公開(公告)日: 2020-11-17
發明(設計)人: 洪慶文;黃志森;鄒世芳;陳意維;鄭永豐;黃莉萍;黃俊憲;黃家緯;郭有策 申請(專利權)人: 聯華電子股份有限公司
主分類號: H01L27/11 分類號: H01L27/11;H01L21/8244;H01L29/423;H01L21/28
代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105 代理人: 陳小雯
地址: 中國臺灣*** 國省代碼: 臺灣;71
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摘要:
搜索關鍵詞: 避免 電路 短路 改良 多晶 硅虛置 技術
【說明書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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4、內容包括專利技術的結構示意圖、流程工藝圖技術構造圖;

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