[發(fā)明專利]導線鍵合裝置的繞線盤系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510809762.0 | 申請日： | 2015-11-20 |
| 公開（公告）號： | CN105632952B | 公開（公告）日： | 2018-10-16 |
| 發(fā)明（設計）人： | 鄭志華;吳漢淦 | 申請（專利權）人： | 先進科技新加坡有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/60 | 分類號： | H01L21/60;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京申翔知識產權代理有限公司 11214 | 代理人： | 艾晶 |
| 地址： | 新加坡2*** | 國省代碼： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 導線 裝置 繞線盤 系統(tǒng) | ||
1.一種用于導線鍵合裝置的繞線盤系統(tǒng)，包括：
設置用于接收引線的引線盤；
用于將所述導線的自由端送入所述導線鍵合裝置的鍵合頭的引線導引部；
用于將所述引線拉緊以在所述引線盤和所述引線導引部之間確定引線路徑的拉緊機構；
包括具有圖像傳感器的照相機和圖像處理單元的成像模塊；
其中所述照相機被設置以通過所述圖像傳感器在所述引線盤和所述引線導引部之間的所述引線路徑的至少一部分成像以產生圖像數據，并且其中所述圖像處理單元被配置為處理所述圖像數據以確定所述引線盤和所述引線導引部之間的所述引線路徑的至少一部分的幾何形狀和/或幾何形狀的變化。
2.權利要求1所述的繞線盤系統(tǒng)，包括在所述拉緊機構和所述引線導引部之間的緩沖區(qū)域，其中所述照相機設置在所述緩沖區(qū)域內。
3.權利要求1所述的繞線盤系統(tǒng)，其中所述圖像數據表示在所述鍵合頭移動之前捕獲的第一圖像，和在所述鍵合頭移動之后捕獲的第二圖像；并且其中所述圖像處理單元被配置為由所述第一和第二圖像確定引線移動的數量。
4.權利要求1所述的繞線盤系統(tǒng)，其中所述圖像處理單元被配置為由所述圖像數據確定所述引線的截面形狀和/或直徑。
5.權利要求1所述的繞線盤系統(tǒng)，其中所述照相機具有能夠檢測引線100μm或更少的移動的分辨率。
6.一種用于導線鍵合裝置的繞線盤系統(tǒng)，包括：
設置用于接收引線的引線盤；
用于將所述導線的自由端送入所述導線鍵合裝置的鍵合頭的引線導引部；
用于將所述引線拉緊以在所述引線盤和所述引線導引部之間確定引線路徑的拉緊機構；包括具有圖像傳感器的照相機和圖像處理單元的成像模塊；
其中所述照相機被設置以通過所述圖像傳感器在所述引線路徑的至少一部分成像以產生圖像數據，并且其中所述圖像處理單元被配置為處理所述圖像數據以確定所述引線路徑的至少一部分的幾何形狀和/或幾何形狀的變化；
其中所述圖像處理單元被配置用于確定作為所述鍵合頭移動的結果而松出的引線的長度。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
