[發明專利]金屬蝕刻設備內部磁場線圈保護裝置在審
| 申請號： | 201510806335.7 | 申請日： | 2015-11-20 |
| 公開（公告）號： | CN105316676A | 公開（公告）日： | 2016-02-10 |
| 發明（設計）人： | 史進;伍志軍 | 申請（專利權）人： | 蘇州賽森電子科技有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/08 | 分類號： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 南京眾聯專利代理有限公司 32206 | 代理人： | 顧進 |
| 地址： | 215699 江蘇省蘇州市張*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金屬 蝕刻 設備 內部 磁場 線圈 保護裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種金屬蝕刻設備內部磁場線圈保護裝置，其包括金屬蝕刻腔體，金屬蝕刻腔體內部設置有用于氣體傳輸的特氣管道，以及用于產生磁場的磁場線圈；其特征在于，所述特氣管道外部設置有管道防護裝置，管道防護裝置設置于磁場線圈于特氣管道端面之上的投影位置。
2.按照權利要求1所述的金屬蝕刻設備內部磁場線圈保護裝置，其特征在于，所述管道防護裝置由第一管道防護層與第二管道防護層構成，其中，第一管道防護層設置于第二管道防護層與特氣管道之間；所述第一管道防護層與第二管道防護層均采用“U”形結構，且其底端面均設置于特氣管道與磁場線圈的相對端面之上。
3.按照權利要求2所述的金屬蝕刻設備內部磁場線圈保護裝置，其特征在于，所述第一管道防護層的厚度大于第二管道防護層的厚度。
4.按照權利要求3所述的金屬蝕刻設備內部磁場線圈保護裝置，其特征在于，所述第一管道防護層與第二管道防護層之上分別設置有固定端板，其均在水平方向上延伸，固定端板與金屬蝕刻腔體的內壁之間通過螺栓進行連接。
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